Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu phát triển y sinh học và khoa học vật liệu,Máy tích hợp nhiệt độ cao và thấp kín trở thành thiết bị cốt lõi của điều khiển nhiệt độ không đổi động nhờ vùng nhiệt độ siêu rộng từ -120 ° C đến 300 ° C và độ chính xác điều khiển nhiệt độ ± 0,1 ° C.Hệ thống tuần hoàn kín hoàn toàn của nó thông qua sự phối hợp của bộ trao đổi nhiệt dạng tấm và bơm điều khiển từ tính để đạt được việc sử dụng hiệu quả của môi trường dẫn nhiệt và không có nguy cơ rò rỉ, trong khi thiết kế của tàu mở rộng tiếp tục làm giảm khả năng oxy hóa môi trường và hấp thụ nước. Tuy nhiên, sự ổn định hiệu suất của loại thiết bị này cần được đảm bảo thông qua các quy trình kiểm tra nghiêm ngặt, sau đây là các quy trình cốt lõi được phân tích từ ba khía cạnh tiêu chuẩn kỹ thuật, đặc điểm kỹ thuật vận hành và các điểm bảo trì.

　　I. Kiểm tra các tiêu chuẩn kỹ thuật: Kiểm tra kép từ phần cứng đến phần mềm

1. Xác minh thông số nhiệt độ

Theo tiêu chuẩn công nghiệp SEMI S2-0712, thiết bị phải hoàn thành kiểm tra tốc độ tăng nhiệt, tốc độ làm mát và tính đồng nhất nhiệt độ (≤ ± 0,5 ° C) trong điều kiện không tải.

2. Phát hiện cơ chế bảo vệ an toàn

Việc kiểm tra yêu cầu che phủ các mô-đun an toàn như bảo vệ rò rỉ, báo động quá tải và tắt máy quá nhiệt. Lấy một thiết bị thương hiệu nào đó làm ví dụ, hệ thống làm lạnh của nó sử dụng phương tiện làm lạnh R404A, khi dòng máy nén vượt quá 10% giá trị định mức, hệ thống điều khiển thông minh sẽ tự động cắt nguồn và hiển thị mã lỗi thông qua màn hình cảm ứng.

　　II. Thông số kỹ thuật hoạt động: Kiểm soát toàn bộ quá trình từ khởi động đến ngừng hoạt động

1. Chuẩn bị trước khi thử nghiệm

Kiểm tra sự xuất hiện của thiết bị mà không bị hỏng, xác nhận mức độ của môi trường dẫn nhiệt (chẳng hạn như dầu silicone) nằm trong phạm vi vạch quy mô, tránh trộn lẫn các môi trường nhớt khác nhau (≤500C · S · t).

Kết nối nguồn điện (380V/50Hz) với đường tuần hoàn bên ngoài để đảm bảo giao diện kín và không rò rỉ, ngăn chặn sự bay hơi của môi trường ở nhiệt độ cao gây ra nguy cơ an toàn.

2. Giám sát hoạt động

Khi đặt nhiệt độ mục tiêu, bạn cần chọn vùng nhiệt độ theo nhu cầu thử nghiệm để tránh vượt quá phạm vi đánh giá của thiết bị.

Quan sát đồng hồ đo áp suất (≤12kPa) và đường cong nhiệt độ trong thời gian thực, nếu có cảnh báo bất thường, cần dừng ngay lập tức để kiểm tra lỗi.

　　Thứ ba, các yếu tố bảo trì: "chiến lược phòng ngừa" để kéo dài tuổi thọ của thiết bị

1. Vệ sinh hàng ngày

Làm sạch bụi ngưng tụ hàng tuần, loại bỏ màn hình lọc hàng tháng để làm sạch, ngăn chặn tạp chất chặn đường ống ảnh hưởng đến hiệu quả tuần hoàn.

2. Quản lý phương tiện

Kiểm tra màu sắc và độ rõ nét của môi trường dẫn nhiệt mỗi 6 tháng, nếu có mây hoặc đổi màu, cần thay thế môi trường mới. Một số loại thiết bị do sử dụng lâu dài môi trường kém chất lượng, gây tắc nghẽn bộ trao đổi nhiệt và chi phí sửa chữa lên đến 30% giá gốc của thiết bị.

3. Bảo vệ hủy kích hoạt dài hạn

Khi thiết bị ngừng hoạt động trong hơn 15 ngày, cần phải làm trống môi trường bên trong đường ống, che phủ lớp phủ bụi sau khi tắt nguồn và chạy không tải 30 phút mỗi 3 tháng để kiểm tra âm thanh chạy của máy nén và động cơ.

Từ phòng thí nghiệm đến dây chuyền sản xuất, quy trình kiểm tra của máy tích hợp nhiệt độ cao và thấp không chỉ là "tiêu chuẩn kiểm tra sức khỏe" về hiệu suất thiết bị, mà còn là phòng tuyến cốt lõi đảm bảo an toàn cho nghiên cứu khoa học và sản xuất. Thông qua hoạt động tiêu chuẩn và bảo trì phòng ngừa, nó có thể cải thiện đáng kể sự ổn định của thiết bị và cung cấp hỗ trợ kiểm soát nhiệt độ đáng tin cậy cho các tình huống có độ chính xác cao như sản xuất wafer bán dẫn và lọc chất lỏng gốc vắc-xin.