-
Thông tin E-mail
sales-sci.cn@horiba.com
-
Điện thoại
13681872955
-
Địa chỉ
Đơn vị D, Tầng 1, Tòa nhà A, Liangqiang International Plaza, 1068 Tianshan Road, Thượng Hải
Về chúng tôi
HORIBA (China)
Khoa học mới nhất của Đại học Khoa học và Công nghệ Bắc Kinh: Lý thuyết liên kết lớp nguyên tử để xác minh tính khả thi của việc sản xuất chip bán dẫn hai chiều! User Results Chuyển phát nhanh
Ngày:2025-12-18Đọc:2
Đại học Khoa học và Công nghệ Bắc Kinh vừa công bố kết quả nghiên cứu mới nhất "Tiếp xúc liên kết lớp nguyên tử của chất bán dẫn hai chiều" (Atomic layer bonding contacts in two-dimensional semiconductors). Kết quả này đã đưa ra ý tưởng học thuật ban đầu về liên kết lớp nguyên tử, phát triển công nghệ hoàn toàn mới để cắt chính xác lớp nguyên tử và mở rộng không đồng nhất của vật liệu bán dẫn hai chiều,Lần đầuĐạt được liên kết lớp nguyên tử của vật liệu bán dẫn hai chiều với điện cực kim loại, phá vỡ nút cổ chai quan trọng của vật liệu bán dẫn hai chiều không thể đáp ứng ngân sách nhiệt của quy trình sản xuất mạch tích hợp dựa trên silicon, thu được quy trình nhiệt độ caotối thiểuTiếp xúc kháng vàTối ưuHiệu suất vận chuyển điện đã xác minh đầy đủ tính khả thi của vật liệu bán dẫn hai chiều trong sản xuất chip trong tương lai.
Sau khi tiến sĩ Viện Nghiên cứu Khoa học và Công nghệ giao thoa tuyến đầu Đại học Khoa học và Công nghệ Bắc Kinh Cao Lệ và nghiên cứu sinh tiến sĩ Trần Chương Nghị là tác giả đầu tiên của luận văn, giáo sư Trương Tiên Khôn, giáo sư Trương Tranh, viện sĩ Trương Dược là tác giả thông tin chung của luận văn.
Bối cảnh nghiên cứu
ởMạch tích hợpLĩnh vực, thực hiện xuất sắcHiệu suất tiếp xúc kim loại với chất bán dẫnLà thách thức lớn trong sản xuất linh kiện.Sản xuất thiết bị bán dẫn truyền thốngTrong đó, thông qua giao diện tiếp xúc kim loại và chất bán dẫn liên kết mạnh mẽ, thiết bị bán dẫn được xây dựng để đáp ứng nhu cầu ứng dụng điện trở tiếp xúc thấp, ổn định cơ học nhiệt độ cao, và độ dẫn nhiệt/độ dẫn giao diện tuyệt vời. Tuy nhiên, đối vớiHợp chất lưu huỳnh kim loại chuyển tiếp hai chiều không có liên kết treo trên bề mặtB5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)Liên hệ mạnh mẽ với vật liệu điện cực kim loạiLuôn làm phiền vật liệu bán dẫn hai chiều.Mạch tích hợp quy trình sản xuất tiên tiếnThực hiện đột phá ứng dụngNút thắt chính。
Kết quả nghiên cứu
Đội ngũ viện sĩ Trương DượcĐể đẩyVật liệu bán dẫn 2DởỨng dụng kỹ thuật mạch tích hợpHướng dẫn, chống lại kim loại -Chất bán dẫn 2DCác vấn đề tiếp xúc, sáng tạo đề xuấtLiên kết lớp nguyên tử(Liên kết lớp nguyên tử, ALB) 的Ý tưởng học thuật gốc, bằng cách loại bỏ chính xác các nguyên tử lưu huỳnh một lớp trên bề mặt của vật liệu bán dẫn 2D molypden disulfide và trực tiếp lắng đọng vật liệu điện cực kim loại, giao diện tiếp xúc ổn định giữa lớp đơn nguyên tử kim loại chuyển tiếp và lớp đơn nguyên tử điện cực kim loại được xây dựng, đạt đượcĐiều khiển chính xác cấu trúc điện tử và cấu trúc mạng tinh thểThành công trong việc xây dựng cả hai.Năng lượng mạnh mẽ với khớp nối và cường độ liên kết caoGiao diện tiếp xúc liên kết lớp nguyên tử, thu được gần với giới hạn tiếp xúc lý thuyết, điện trở tiếp xúc thấp tới 70Ωμm và ổn định nhiệt cơ học lên tới 400 ℃, đạt được Lộ trình công nghệ hệ thống và thiết bị bán dẫn quốc tế (IRDS) choYêu cầu ứng dụng cho thiết bị điện tử hiệu suất cao。
B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)
Hình 2 Hiệu suất của bóng bán dẫn tiếp xúc ALB
Đóng góp công cụ
Nghiên cứu này sử dụng Máy quang phổ Raman Horiba HR800(Hiện đã được nâng cấp hoàn toàn.LabRAM OdysseyPhân tích ứng suất kênh bán dẫn MoS₂ ở các phương thức tiếp xúc khác nhau đã được thực hiện và kết quả xác nhận rằng các bóng bán dẫn MoS₂ sử dụng liên kết lớp nguyên tử (ALB) không bị ảnh hưởng bởi ứng suất trước và sau khi nung nóng, trong khi các kênh tiếp xúc với vàng trực tiếp phải chịu ứng suất kéo nghiêm trọng (Hình 3).
Hình 3: Quang phổ Raman ở vùng kênh bán dẫn MoS₂ tiếp xúc với ALB (trên) tiếp xúc với vàng trực tiếp (dưới)
Sản phẩm LabRAM Odyssey
Máy quang phổ Raman siêu nhỏ độ phân giải cao tốc độ cao
Quang phổ Raman là một phương tiện đặc trưng phổ biến để phát hiện các đặc tính rung động của mạng tinh thể và tính vật chất của phonon. Horiba LabRAM Odyssey, với độ phân giải quang phổ cực cao, có thể được sử dụng để xác định số lớp vật liệu, phát hiện lỗi, phân tích ứng suất cũng như phân tích cấu trúc. Thiết bị này, kết hợp với công nghệ hiển vi đồng tập trung, có thể ức chế hiệu quả nhiễu loạn, do đó thu được dữ liệu quang phổ Raman với tỷ lệ tín hiệu nhiễu cao. Thiết kế mở của nó cũng hỗ trợ tích hợp các chức năng hình ảnh đa phương thức như sóng hài thứ cấp (SHG), phân cực và dòng điện quang.
Kết luận&Outlook
Liên kết lớp nguyên tử (ALB) làGiải quyết vấn đề giao diện bán dẫn 2D với điện cực kim loạiLộ trình công nghệ hoàn toàn mới,Đột phá rồi.Hạn chế vật liệu bán dẫn hai chiều hướng tới nút thắt cổ chai quan trọng trong phát triển công nghiệp hóa, sẽĐẩy mạnhThiết bị bán dẫn hai chiều phát triển từ phòng thí nghiệm sang sản xuất quy mô lớn.
Tác giả Profile
Trương Dược.Viện Khoa học và Công nghệ Frontier Cross
Tham gia vào nghiên cứu về vật liệu bán dẫn chiều thấp và hành vi phục vụ của chúng, cam kết kết hợp nghiên cứu tiên tiến về vật liệu bán dẫn chiều thấp và các yêu cầu quan trọng của quốc gia, đã có những đóng góp quan trọng mang tính hệ thống, sáng tạo trong lý thuyết cơ bản, công nghệ chuẩn bị và ứng dụng kỹ thuật cho các ứng dụng vật liệu và thiết bị quan trọng trong lĩnh vực thông tin, năng lượng và cảm biến. Chủ trì gánh vác hơn 60 dự án như chương trình nghiên cứu khoa học quan trọng của Nhà nước, chương trình nghiên cứu phát triển trọng điểm của Quỹ Khoa học tự nhiên quốc gia, dự án trọng điểm, dự án nghiên cứu chế tạo dụng cụ nghiên cứu khoa học quan trọng của Nhà nước, dự án giao lưu hợp tác quốc tế quan trọng giữa Bộ Khoa học và Công nghệ quốc gia, dự án dẫn trí sáng tạo ngành học của các trường đại học và cao đẳng Cục ở Science、Nature、Nature Materials、Nature Nanotechnology、Nature Energy、Nature Electronics Hơn 450 bài luận văn của SCI được công bố trên các tạp chí trong và ngoài nước; Viết và xuất bản 8 chuyên khảo tiếng Trung và 5 chuyên khảo tiếng Anh. Được ủy quyềnSáng chếHơn 100 dự án; Người hoàn thành đầu tiên giành được 1 giải nhì khoa học tự nhiên quốc gia, 3 giải nhất thành quả khoa học kỹ thuật cấp tỉnh, 2 giải nhất thành quả giảng dạy cấp tỉnh.
Nếu bạn quan tâm đến các sản phẩm được đề cập ở trên, hoan nghênh mã quét để lấy mẫu hoặc để lại lời nhắn, kỹ sư của chúng tôi sẽ liên lạc với bạn kịp thời.
Lấy mẫu ↑ ↑
Tư vấn sản phẩm ↑
Nội dung tham khảo bài viết này đến từ số công chúng: Đại học Khoa học và Công nghệ Bắc Kinh