Máy đo chân không inficon là một dụng cụ được sử dụng để đo áp suất khí (trong phạm vi mật độ không khí thấp hơn áp suất khí quyển) trong khu vực có độ chân không cao. Nguyên tắc hoạt động của nó dựa trên sự va chạm giữa các phân tử khí và bề mặt, cũng như các đặc tính chuyển động của các phân tử khí trong điều kiện chân không.
Có rất nhiều loại, các dụng cụ này hoạt động theo các nguyên tắc khác nhau, chẳng hạn như dòng chảy của các electron nhiệt và anion cathode, hấp thụ dòng chảy lớn, đo áp suất thể tích và cách rung, v.v. Các máy đo chân không khác nhau có các tính năng và ưu điểm và nhược điểm khác nhau, có thể chọn dụng cụ phù hợp theo nhu cầu thực tế.
Nguyên tắc cơ bản của máy đo chân không inficon:
Bao gồm hai điện cực, một trong số đó là cực dương (ống tia cathode hoặc súng điện tử) và điện cực kia là cực âm (bộ thu). Khi một nguồn điện áp cao được thêm vào, anode phát ra một chùm electron va chạm với các phân tử khí khi nó đi qua vùng chân không, ion hóa nó và tạo ra một cặp ion điện tử. Các cặp ion này di chuyển dưới sự điều khiển của điện trường và tạo ra một dòng điện trên bề mặt cathode.
Với cấu trúc điện cực khác nhau và thiết kế mạch, máy đo chân không có thể đạt được phạm vi đo lường và độ nhạy khác nhau. Trong số đó, máy đo chân không cathode nhiệt sử dụng nguyên tắc phát xạ nhiệt điện tử để tạo ra các electron trong vùng chân không và tính toán áp suất khí thông qua va chạm giữa các electron và các phân tử khí; Trong khi máy đo chân không cathode lạnh đo áp suất không khí bằng cách hấp thụ khí và hấp thụ hòa giải trên bề mặt cathode, độ nhạy của nó cao hơn máy đo chân không cathode nóng, thích hợp cho phạm vi đo rộng hơn.
Tóm lại, máy đo chân không inficon được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng, chẳng hạn như pin mặt trời, nghiên cứu vật liệu trong lĩnh vực vi điện tử, nhà máy chế biến chất bán dẫn và nhà máy sản xuất hàng không, v.v. Máy đo chân không khác nhau có phạm vi đo khác nhau, khối lượng, độ nhạy và các tính năng khác. Vì vậy trong việc lựa chọn và sử dụng thời gian chân không, cần phải đánh giá theo tình hình thực tế để chọn dụng cụ thích hợp.