Để cải thiện chất lượng làm sạch của các đối tượng, theo bản chất của chất tẩy rửa và loại chất bẩn, nên chọn quy trình làm sạch thích hợp và chất tẩy rửa không gây ô nhiễm môi trường không ODS, và các thiết bị hỗ trợ tương ứng. Gần đây trong và ngoài nước đã làm rất nhiều công tác nghiên cứu về phương diện này, cũng đầu tư rất nhiều vốn, nhân lực và vật lực, và đạt được thành quả tương ứng. Lựa chọn quá trình làm sạch của máy làm sạch siêu âm đề cập đến việc lựa chọn và xây dựng chất lỏng làm sạch siêu âm, nhiệt độ chất lỏng làm sạch, tần số siêu âm, mật độ công suất siêu âm, thời gian làm sạch và chất lỏng làm sạch. Chất lỏng làm sạch thích hợp có ảnh hưởng lớn đến hiệu quả làm sạch máy siêu âm và bảo vệ môi trường. Vì cơ chế làm sạch của máy làm sạch siêu âm chủ yếu là sử dụng vai trò cavitation, việc lựa chọn chất lỏng làm sạch ngoài việc xem xét vật liệu làm sạch, dầu bẩn, tạp chất cơ học, cũng phải đảm bảo độ nhớt nhỏ của chất lỏng làm sạch và sức căng bề mặt nhỏ để tạo điều kiện cho cavitation của chất lỏng làm sạch; Đôi khi cũng cần thêm các chất phụ gia như dung môi phụ, chất ổn định, chất khử bọt và chất khử tĩnh điện.
Gần đây, các yêu cầu về bảo vệ môi trường ngày càng nghiêm ngặt, theo thỏa thuận Montreal, việc sử dụng các chất tẩy rửa ODS khác nhau phải bị cấm hoàn toàn, vì vậy hiện nay các chất tẩy rửa ODS khác nhau đang được nghiên cứu và thử nghiệm, để làm sạch nước siêu âm, làm sạch bán nước siêu âm và làm sạch dung môi hydrocarbon siêu âm và quá trình tương ứng, nghiên cứu và phát triển thiết bị liên quan cũng đang được tiến hành đồng bộ. Hiện nay có một quá trình tương đương để thay thế chất tẩy rửa ODS toàn diện, nhưng tôi tin rằng dưới những nỗ lực liên tục của cộng đồng siêu âm và cộng đồng dung môi hóa học, một công nghệ làm sạch siêu âm không ODS vừa có tính làm sạch vừa có tính bảo vệ môi trường và kinh tế sẽ được sử dụng rộng rãi.