I. Tổng quan ‌

Máy hút chân không Rotts là một hệ thống hút chân không kết hợp nhiều giai đoạn, hiệu quả cao bao gồm máy bơm Roots Pump và máy bơm chân không rotts-chip trong loạt. Đơn vị này kết hợp khả năng bơm tốc độ cao của máy bơm rễ và lợi thế tỷ lệ nén cao của máy bơm cánh quạt. Nó được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực công nghiệp đòi hỏi chân không trung bình và cao (10⁻²~10⁻Pa), chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn, sơn chân không, hóa chất dược phẩm, v.v.

2. nguyên tắc làm việc

‌ 1, Bơm rễ (bơm chính)

• Một cặp cánh quạt quay ngược đồng bộ (rôto) được sử dụng để đẩy khí từ cửa hút gió về phía cửa xả bằng cách chia lưới không tiếp xúc.

• Không nén bên trong, phụ thuộc vào tốc độ quay cao để đạt được tốc độ bơm lớn (lên đến 1000~20000 m³/h).

• Cần được sử dụng với máy bơm giai đoạn trước (máy bơm cánh quạt), vì máy bơm Rotz không thể tự xả khí áp suất khí quyển trực tiếp.

B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

• Nén và xả khí thông qua rotor lệch tâm và spin, cung cấp chân không sơ cấp (chân không giới hạn khoảng 10⁻² Pa).

• Tạo môi trường áp suất ngược thấp cho máy bơm rễ và đảm bảo hoạt động hiệu quả của đơn vị.

3, Quy trình làm việc hợp tác

• Khí đầu tiên được bơm bằng máy bơm cánh quạt đến phạm vi chân không trung bình (1~10 Pa), sau đó bơm rễ được kích hoạt để tiếp tục tăng độ chân không lên mức cao hơn.

III. Đặc điểm kỹ thuật

1, Tiết kiệm năng lượng hiệu quả

• Tốc độ bơm của máy bơm rễ cao hơn đáng kể so với máy bơm cánh quạt một tầng trong phạm vi áp suất thấp, tiêu thụ năng lượng thấp hơn 30%~50% so với các đơn vị truyền thống.

2, Phạm vi làm việc rộng

• Bao phủ chân không trung bình đến chân không cao (10⁵~10⁻ Pa), thích ứng với nhu cầu quá trình thay đổi.

3, Độ rung thấp và ô nhiễm thấp

• Thiết kế không dầu của máy bơm rễ để giảm ô nhiễm, máy bơm cánh quạt có thể chọn bôi trơn dầu hoặc khô (máy bơm cánh quạt không dầu), đáp ứng yêu cầu làm sạch.

4, Điều khiển thông minh

• Thiết bị hiện đại được trang bị hệ thống điều khiển PLC, tự động điều chỉnh tốc độ bơm, bảo vệ quá tải và trình tự khởi động và dừng.

‌4, kịch bản ứng dụng điển hình‌

1, Quang điện và chất bán dẫn

• Để duy trì môi trường chân không cho lớp phủ wafer, thiết bị khắc.

2, Hóa chất và dược phẩm

• Phục hồi dung môi, sấy chân không, chưng cất phân tử và các quy trình khác.

3, Nghiên cứu khoa học và phòng thí nghiệm

• Thiết bị bức xạ synchrotron, máy sấy đông lạnh chân không, v.v.

4, Bao bì thực phẩm

• Nhanh chóng loại bỏ không khí bên trong bao bì để kéo dài thời hạn sử dụng.