Van góc chân không khí nén kép với điều khiển luồng không khí chính xác và khả năng phù hợp ổn định, được áp dụng cho lớp phủ chân không, sản xuất chất bán dẫn, thí nghiệm nghiên cứu khoa học và các kịch bản khác để hỗ trợ điều chỉnh áp suất hệ thống chân không và chặn luồng không khí. Sau đây là phân tích từ hai mặt nguyên lý kết cấu, ưu thế kỹ thuật và cảnh.
I. Cấu trúc cốt lõi và nguyên tắc làm việc: ổ đĩa khí nén kép, điều khiển chính xác
Van thông qua thiết kế mô-đun "ổ đĩa khí nén kép+người chạy góc", đảm bảo hoạt động ổn định chân không:
•Cấu trúc cốt lõi: Bao gồm thân van bằng thép không gỉ (giảm lực cản của đường chạy góc), thiết bị truyền động xi lanh kép (chống kẹt công tắc chia), bộ phận niêm phong chân không (giữ kín khí) và giao diện điều khiển.
•Nguyên tắc hoạt động: Thông hơi đẩy lõi van để đạt được thông qua kênh, có thể được điều khiển tự động bằng bộ điều khiển PLC, và phản ứng của lõi van lên đến cấp mili giây để đáp ứng nhu cầu lão hóa.
Thứ hai, lợi thế kỹ thuật và kịch bản áp dụng: phù hợp với điều kiện làm việc phức tạp
Dựa vào tối ưu hóa cấu trúc, van phù hợp với nhu cầu đa ngành:
•Lợi thế kỹ thuật: 10 ⁻Pa để phù hợp chân không rộng áp suất khí quyển; Thân thép không gỉ chống ăn mòn; Cấu trúc góc dễ cài đặt và các thành phần dễ bảo trì theo tiêu chuẩn.
•Cảnh áp dụng: Quá trình chip bán dẫn, điều chỉnh khí chân không, điều khiển chân không thí nghiệm nghiên cứu khoa học, và lớp phủ PV, hàn chân không điện tử, v.v.
Tiếp theo sẽ tối ưu hóa niêm phong van và tốc độ đáp ứng, phát triển các mô hình đa thông số kỹ thuật để cung cấp các phương án điều khiển chân không chính xác hơn.