Bơm phân tử tuabin là một loại máy bơm chân không cơ khí dựa trên chuyển động phân tử khí của rôto quay tốc độ cao để có được chân không siêu cao. Nó được tạo ra bởi sự kết hợp của cánh quạt động và cánh quạt tĩnh, tiết kiệm năng lượng hơn so với bơm khuếch tán và không gây ô nhiễm hơi dầu. Đồng thời, nó có các đặc điểm của tốc độ bơm lớn và tỷ lệ nén cao trong dòng phân tử. Nó là máy bơm phân tử có tốc độ bơm lớn trong nước hiện nay. Cánh quạt động được xử lý bằng một phần thay đổi, sức mạnh của nó làm tăng trọng lượng và làm cho hiệu suất bơm phân tử đáng tin cậy và ổn định hơn.
Các biện pháp phòng ngừa hoạt động của bơm phân tử turbo
♦ Không thể dừng bơm phân tử turbo khi bơm giai đoạn trước đang hoạt động (đường ống giai đoạn trước được bật) và buồng chân không ở trạng thái chân không, nếu không hơi dầu sẽ nhanh chóng quay trở lại đường ống giai đoạn trước đến đầu sạch của bơm.
♦ Hệ thống bơm phân tử trước khi dừng để nạp khí khô, hãy chắc chắn để tắt nước làm mát bơm phân tử trước, và bơm hơi từ đầu chân không cao của máy bơm. Không bao giờ bơm hơi từ đường ống phía trước của máy bơm.
♦ Việc lựa chọn kích thước của máy bơm giai đoạn phía trước của hệ thống nên giữ cho giai đoạn phía trước của máy bơm phân tử tuabin ở trạng thái dòng phân tử.
♦ Máy bơm phân tử tuabin không thể được phép hoạt động dưới RPM định mức.
♦ Đầu vào bơm phân tử phải được trang bị lưới bảo vệ để tránh các vật lạ xâm nhập vào máy bơm làm hỏng cánh quạt bơm và cánh quạt stator.
Các lĩnh vực ứng dụng của bơm phân tử turbo, bao gồm nhưng không giới hạn ở:
♦ Phân tích (máy phân tích phổ khối, kính hiển vi điện tử, v.v.).
♦ Công nghiệp bán dẫn (linh kiện điện tử, mạch tích hợp, pin mặt trời, v.v.).
♦ Công nghiệp quang học/thủy tinh (chống nhiệt, chống phản xạ, phản xạ, lớp phủ lọc quang học, v.v.
♦ Công nghệ phủ (bảo vệ bề mặt, lớp phủ trang trí, màn hình, màn hình, v.v.).
♦ Luyện kim chân không (hàn chân không, thiêu kết chân không, hợp kim chân không, lò chân không, v.v.).
♦ Công nghệ phát hiện rò rỉ (thiết bị chân không, bể chứa xe, túi khí, bao bì, v.v.).
♦ Thiết bị nghiên cứu khoa học (vật lý hạt nhân, nghiên cứu phản ứng nhiệt hạch, ứng dụng laser, v.v.).
♦ Thiết bị chiếu sáng công nghiệp (sản xuất bóng đèn).