Bơm phân tửNó sử dụng rôto quay tốc độ cao để truyền động lượng cho các phân tử khí, để nó có được tốc độ định hướng, do đó được nén và đẩy về phía cổng xả cho giai đoạn trước sau khi bơm chân không. Loại bơm này có thể được chia thành:
1.Phân tử bơm phân tử kéo Các phân tử khí thu được động lượng bằng cách va chạm với rôto chuyển động tốc độ cao và được đẩy đến đầu ra của máy bơm.
2.Máy bơm phân tử tuabin thực hiện bơm khí bằng cách sử dụng các cánh động quay ở tốc độ cao và các cánh cố định tĩnh phối hợp với nhau. Loại bơm này thường hoạt động ở trạng thái dòng chảy phân tử.
3.Bơm phân tử hỗn hợp Nó là một loại bơm chân không phân tử hỗn hợp được kết hợp song song bởi hai loại bơm phân tử tuabin và kéo.
Bơm phân tử hỗn hợpĐó là sự kết hợp song song của máy bơm phân tử tuabin và máy bơm phân tử kéo, tích hợp những ưu điểm của cả hai loại máy bơm. Máy bơm có tốc độ bơm lớn hơn và tỷ lệ nén cao hơn trong phạm vi áp suất rất rộng ((10-6~1Pa), giúp cải thiện đáng kể áp suất đầu ra của máy bơm. Có rất nhiều hình thức bơm phân tử hỗn hợp, theo cấu trúc, chủ yếu có hai loại: một là sự kết hợp song song của cánh tuabin và máy bơm kéo đĩa; Một loại khác là sự kết hợp song song của cánh tuabin và bơm kéo thùng; Nó trông như thế này:
1, Giai đoạn TurboNó chủ yếu được sử dụng để cải thiện tốc độ bơm của máy bơm, thường sử dụng hình dạng cánh quạt có lợi cho việc nâng cao tốc độ bơm, cấp độ trong vòng l0. Giai đoạn kéo chủ yếu được sử dụng để tăng tỷ lệ nén của máy bơm và cải thiện áp suất đầu ra của máy bơm.
2, giai đoạn kéo đĩaLà mở ra một số rãnh đường kiểu theo quy luật nhất định trên mặt phẳng bàn tròn, sau đó kết nối vài khối bàn tròn lại tạo thành, các đường kiểu có các đường vòng Archimedes, các đường vòng cung đối số, v. v. Khi bơm khí dựa vào đĩa quay tốc độ cao để "kéo" các phân tử khí, làm cho nó dọc theo rãnh như dòng chảy định hướng từ trong ra ngoài và từ ngoài vào trong, để đạt được mục đích bơm khí.