Quá trình cụ thể của phản ứng oxy hóa quang xúc tác là: dưới ánh sáng cực tím, chất quang xúc tác Nano TiO2 tạo ra các cặp lỗ điện tử, phản ứng với độ ẩm và oxy hấp thụ bề mặt để tạo ra các gốc tự do oxy hóa mạnh (ví dụ như các gốc tự do hydro oxy và các gốc tự do superoxion), có khả năng làm suy giảm các chất hữu cơ thành carbon dioxide và nước, toàn bộ quá trình không có phụ gia và không gây ô nhiễm thứ cấp.
Nguyên lý hoạt động của buồng thử nghiệm quang xúc tác VUV năng lượng cao là thông qua chùm tia UV năng lượng cao cụ thể chiếu xạ khí hữu cơ và các phân tử oxy trong không khí, phá vỡ các liên kết phân tử của khí hữu cơ và phân biệt các phân tử oxy trong không khí để tạo thành oxy tự do (oxy phản ứng), sau đó kết hợp với các phân tử ô nhiễm để tạo ra các phân tử nhỏ vô hại hoặc các hợp chất có hại thấp, chẳng hạn như carbon dioxide và nước, để đạt được hiệu quả làm sạch khí. Thiết bị oxy hóa quang xúc tác thích hợp cho việc khử mùi và khử trùng khử trùng các khí có mùi như nhà máy lọc dầu, nhà máy cao su, nhà máy hóa chất, nhà máy dược phẩm, nhà máy xử lý nước thải, trạm chuyển rác, nhà bơm nước thải, điều hòa không khí trung tâm. Có thể làm việc liên tục 24 giờ mỗi ngày, hoạt động ổn định và đáng tin cậy.

Thành phần cấu trúc chính của buồng thử nghiệm quang xúc tác VUV năng lượng cao bao gồm các bộ phận sau:
• Máy phát vi sóng: tạo ra các lò vi sóng năng lượng cao để kích thích phản ứng quang xúc tác.
Máy tạo ozone ion: tạo ra ozone để sử dụng trong các phản ứng oxy hóa.
Tủ điều khiển: Kiểm soát hoạt động của toàn bộ thiết bị.
• Lọc hiệu quả trung bình: Lọc không khí vào thiết bị để đảm bảo các tạp chất không đi vào khoang phản ứng.
TiO Photocractor: hoạt động như một chất xúc tác để thúc đẩy phản ứng quang xúc tác.
Vỏ hộp bên ngoài: Bảo vệ các thành phần bên trong và cung cấp môi trường làm việc ổn định.