Trong lĩnh vực ứng dụng chân không công nghiệp, bộ điều khiển chân không cắt (On-Off) trở thành một lựa chọn phổ biến cho các quy trình như sấy chân không, ngâm tẩm, khử bọt và nhiều hơn nữa vì hiệu quả chi phí tuyệt vời và dễ vận hành. Tuy nhiên, mô hình làm việc vốn có của nó cũng đặt ra một thách thức kỹ thuật cổ điển: áp lực quá mức.

I. Điểm mấu chốt

Tại sao kiểm soát không ổn định?

Logic của điều khiển thông qua là ngắn gọn và rõ ràng, và nó hoạt động như sau:

1.Giám sát: Cảm biến áp suất đọc độ chân không buồng trong thời gian thực.

2.So sánh: Bộ điều khiển so sánh giá trị đọc với giá trị cài đặt của người dùng.

3.Thực hiện: Khi áp suất>giá trị thiết lập, bộ điều khiển bật mạch và bắt đầu hút chân không. Khi áp suất ≤ giá trị cài đặt, bộ điều khiển ngắt mạch và ngừng hút chân không.

Mâu thuẫn cốt lõi của vấn đề là: thiếu một "bộ đệm" có thể điều chỉnh giữa khả năng "bơm tốc độ đầy đủ" mạnh mẽ của máy bơm chân không và tốc độ "rò rỉ/xả vốn có" nhỏ của hệ thống.

Giai đoạn bơm: Máy bơm hoạt động ở tốc độ bơm lớn Z, khả năng bơm của nó lớn hơn nhiều so với tốc độ rò rỉ chậm của hệ thống, khiến nó dễ dàng vượt qua điểm đặt.

Giai đoạn dừng: Đường ống hút chân không bị cắt, nhưng các nguồn không khí như vật liệu buồng xả, rò rỉ nhỏ vẫn tiếp tục đưa khí vào hệ thống, dẫn đến áp suất tăng chậm.

2.Cách phá giải

1Giảm xóc vật lý - lắp thêm bình giảm xóc chân không

Đây là một giải pháp vật lý có thể nhắm mục tiêu để vượt quá áp lực.

Nguyên tắc: Trên đường ống giữa khoang chân không và bơm, một bể chân không (bể đệm) có thể tích lớn hơn nhiều so với khoang trong loạt.

Vai trò: Tăng đáng kể tổng thể tích của hệ thống (công suất không khí). Theo định luật khí lý tưởng, thể tích càng lớn, áp suất thay đổi chậm hơn do tải khí giống nhau (tải khí). Điều này cung cấp thời gian phản ứng lâu hơn cho bộ điều khiển ngắt kết nối, làm mịn đáng kể biến động áp suất và giảm hiệu quả quá mức.

Kịch bản áp dụng: đặc biệt thích hợp cho điều kiện làm việc của buồng nhỏ với máy bơm lớn. Nó là một giải pháp thực tế để tối ưu hóa sự ổn định áp suất.

2, hạn chế lưu lượng cơ khí - - lắp đặt van tiết lưu thủ công

Đây là một phương án cải tạo đơn giản với chi phí thấp và tính thực dụng cao.

Nguyên tắc: Ở đầu vào không khí của máy bơm, lắp đặt van kim thủ công hoặc van bi chính xác.

Tác dụng: Bằng cách điều chỉnh độ mở van bằng tay, cơ học hạn chế hướng dẫn dòng chảy của kênh bơm, do đó làm giảm tốc độ bơm hiệu quả của máy bơm một cách giả tạo.

Hoạt động:

1.Khi bơm, trước tiên hãy điều chỉnh van đến trạng thái mở hoàn toàn.

2.Khi áp suất tiếp cận giá trị cài đặt mục tiêu, hãy đóng van từ từ.

3.Quan sát sự thay đổi áp suất và ổn định điều chỉnh của nó gần giá trị mục tiêu.

4.Tại thời điểm này, bộ điều khiển ngắt kết nối sẽ thực hiện một phạm vi nhỏ của kiểm soát khởi động và dừng trên đường cong áp suất bị hạn chế và nhẹ nhàng hơn, và hiện tượng vượt quá đã được cải thiện rất nhiều.

Ưu điểm: Simple, Cheap, Effect Now.

Nhược điểm: Cần điều chỉnh trước bằng tay theo các điểm áp suất mục tiêu khác nhau, không thể đạt được điều khiển thông minh hoàn toàn tự động.

Tình huống áp dụng: Các ứng dụng có yêu cầu khắt khe về độ ổn định chân không, chẳng hạn như quá trình bán dẫn, lớp phủ quang học, thí nghiệm nghiên cứu khoa học cấp cao, v.v.