Máy sấy điểm tới hạn Automegasamdri-938, Series C

Automegasamdri-938,

Dòng C

• Đặc điểm sản phẩm:

• Cấu hình mới của điều khiển "sạc chậm" chuyên dụng, cung cấp động lực học chất lỏng carbon dioxide lý tưởng cho khoang mẫu, bảo vệ hầu hết các mẫu dễ vỡ;

• Thiết bị lọc sau PURGE được cấu hình bên ngoài để bảo vệ mẫu, dễ dàng thay thế và bảo trì sau;

• Được cấp bằng sáng chế độc quyền "Vortex Swirl" khuấy phi cơ học, cho phép PURGE hoàn toàn mà không làm hỏng mẫu;

• Hệ thống tuần hoàn làm mát khép kín bên trong hiệu quả cao, có thể nhanh chóng làm mát nhiệt độ khoang và rút ngắn thời gian hoạt động;

• Tích hợp bình ngưng SOTER, tách ethanol thải và khí thải, loại bỏ tiếng ồn xả;

• Khối điền buồng mẫu độc đáo, có thể thay đổi đường kính buồng mẫu, giảm tiêu thụ và thời gian xử lý carbon dioxide lỏng, và tương thích với việc xử lý wafer có kích thước khác nhau;

• Hệ thống lọc bên trong, lọc carbon dioxide lỏng chảy vào phòng mẫu, kích thước hạt lọc tối thiểu đạt 0,08 μm;

• Một lần chạy có thể xử lý 5 tấm wafer 8 inch, thay đổi kích thước phòng mẫu, mỗi lần chạy cũng có thể xử lý các tấm wafer 6 inch, 4 inch, 3 inch, 2 inch và 10 mm;

• Tiêu chuẩn với Teflon tương thích 8 inch, 6 inch, 4 inch, 3 inch, 2 inch wafer mẫu chủ và 10 mm vuông mẫu chủ mỗi cái;

• Phòng mẫu thẳng đứng, khoang bên trong có ánh sáng, nắp phòng mẫu có cửa sổ quan sát;

• Điều khiển màn hình cảm ứng LCD sáng;

• Được xây dựng trong nhà máy tự động chạy chương trình và có thể tạo và lưu các chương trình cá nhân;

• Tất cả các bề mặt bên trong phù hợp với CO2, acetone và ethanol siêu tinh khiết;

• Các thông số được thiết lập có thể được lặp lại để đảm bảo tính lặp lại của kết quả;

• Tích hợp điều khiển nhiệt độ tự động và mô-đun điều khiển áp suất tĩnh để đảm bảo hoạt động tự động và an toàn;

• Phòng sạch và thiết kế tương thích chống tĩnh điện;

Tất cả các bộ phận điện đáp ứng tiêu chuẩn UL, CE và US Military;

• Thông số kỹ thuật sản phẩm:

• Kích thước bên ngoài: W 19,8 "(50,3 cm) × D 31,7"(80,6 cm) × H 44,5 "(113,0 cm);

• Kích thước sàn lắp đặt: W 27 "(68,6 cm) × D 38"(96,5 cm);

• Kích thước phòng mẫu: ID 8,5 "× D 1,25", Thể tích phòng mẫu: 1162 ml;

• Tốc độ dòng chảy của LCO2 được điều khiển bằng van đo nhỏ với caliper vernier;

120V/50-60HZ (điện áp khác tùy chọn);