Nền tảng SEM mô-đun cho các hoạt động trực quan, phát hiện định kỳ và các ứng dụng nghiên cứu

EVO Series kết hợp gương quét hiệu suất cao với trải nghiệm giao diện người dùng trực quan, thân thiện trong khi có thể thu hút người dùng có kinh nghiệm cũng như người dùng mới. Cho dù trong khoa học đời sống, khoa học vật liệu, hoặc trong lĩnh vực đảm bảo chất lượng công nghiệp thường xuyên và phân tích lỗi, EVO có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của bạn với một loạt các cấu hình tùy chọn.

<iframe src='' name='wistia_embed-vpfaa2c47f5760472c99a616706ee7fe26'></iframe>

• Giải pháp đa chức năng cho trung tâm kính hiển vi hoặc phòng thí nghiệm đảm bảo chất lượng công nghiệp

• Kích thước buồng chân không khác nhau và tùy chọn tàu sân bay đáp ứng tất cả các yêu cầu ứng dụng - ngay cả đối với các mẫu linh kiện công nghiệp lớn

• Sử dụng dây tóc LaB6 cho chất lượng hình ảnh tuyệt vời

• Hiệu suất hình ảnh và phân tích tuyệt vời cho các mẫu không dẫn và không có lớp phủ dẫn

• Nhiều máy dò phân tích có thể được cấu hình để đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng phân tích vi mô khác nhau

Lợi thế

Tiện ích

SmartSEM Touch có thể được kiểm soát quy trình làm việc tương tác bằng cách sử dụng ngón tay của bạn với nó. Nó đơn giản và dễ học, giảm đáng kể nỗ lực và chi phí đào tạo, và thậm chí người dùng mới có thể chụp những hình ảnh tuyệt vời trong vài phút. Giao diện người dùng này cũng hỗ trợ các nhà khai thác công nghiệp cần tự động hóa quy trình làm việc để thực hiện các nhiệm vụ kiểm tra lặp lại.

Chất lượng hình ảnh tuyệt vời

EVO rất giỏi trong việc thu thập dữ liệu chất lượng cao từ các mẫu không được xử lý và không có lớp phủ dẫn điện. EVO cũng cho phép các mẫu giữ nguyên trạng thái ban đầu của chúng, duy trì chất lượng dữ liệu của các mẫu chứa nước và bị ô nhiễm nặng. Ngoài ra, khi hình ảnh và phân tích vi lượng gặp phải những thách thức, việc lựa chọn dây tóc LaB6 mang lại độ phân giải, độ tương phản và tỷ lệ tín hiệu tiếng ồn tốt hơn.

EVO có thể kết nối với các thiết bị khác

EVO có thể được sử dụng như một phần của quy trình làm việc bán tự động, đa chế độ để hình thành tính toàn vẹn của thông tin bằng cách định vị lại các khu vực quan tâm và thu thập dữ liệu theo nhiều cách khác nhau. Hình ảnh kính hiển vi quang học và điện tử được kết hợp để mô tả vật liệu hoặc kiểm tra bộ phận hoặc EVO được liên kết với kính hiển vi quang học Zeiss để phân tích độ hạt tương quan.

Thích hợp cho nhiều hoạt động người dùng hơn

Dễ dàng cho người dùng có kinh nghiệm và người mới

Trong môi trường phòng thí nghiệm thực tế, hoạt động của SEM thường là lĩnh vực độc quyền của các chuyên gia kính hiển vi. Nhưng đối với người dùng không phải là chuyên gia, việc vận hành SEM trở nên thách thức, chẳng hạn như sinh viên, thực tập sinh hoặc kỹ sư chất lượng, những người thường cần dữ liệu từ SEM. EVO xem xét cả hai loại nhu cầu của người dùng, với các tùy chọn giao diện người dùng đáp ứng cả các chuyên gia kính hiển vi có kinh nghiệm và nhu cầu hoạt động của người dùng không chuyên nghiệp.

Người dùng chuyên gia

Giao diện người dùng ưa thích: SmartSEM

Người dùng chuyên gia có thể truy cập và thiết lập các thông số hình ảnh và chức năng phân tích nâng cao.

SmartSEM: Giao diện điều khiển cho người dùng có kinh nghiệm

Người dùng mới

Giao diện người dùng ưa thích: SmartSEM Touch

Người dùng mới làm quen có thể sử dụng quy trình làm việc được xác định trước và một số thông số thường được sử dụng - lý tưởng cho người mới bắt đầu.

SmartSEM Touch: Giao diện người dùng đồ họa đơn giản chạy trên máy tính màn hình cảm ứng

Điều hướng thông minh và hình ảnh

Cải thiện đáng kể hiệu quả thử nghiệm của mẫu, cũng như đầu ra dữ liệu nhiều hơn

Máy ảnh Zeiss Navigation

Máy ảnh có thể được lắp đặt ở phía trước của khoang chứa để theo dõi vị trí tương đối giữa mẫu và máy dò tán xạ phía sau cũng như đầu đáy của ống kính (máy ảnh khoang chứa); Hoặc lắp đặt phía trên cửa kho chân không (máy ảnh dẫn đường), sử dụng bản đồ nhìn xuống để xem vị trí đặt mẫu trên bàn mẫu. Chế độ xem này có thể được sử dụng để thiết lập các vị trí được xác định trước được xác định từ hình ảnh kính hiển vi quang học và dễ dàng điều hướng trong suốt quá trình thử nghiệm mẫu.

Hình ảnh thông minh tự động

EVO cho phép thu thập hình ảnh tự động, không giám sát hàng loạt các mẫu. Zeiss tự động hóa hình ảnh thông minh là hoàn hảo cho phát hiện định kỳ. Nó cho phép người dùng tùy chỉnh các khu vực ranh giới, tự động tạo ra các quan điểm mong muốn hoặc các khu vực quan tâm được xác định bởi độ phóng đại và bắt đầu tự động lấy hình ảnh. Hình ảnh thông minh tự động sẽ cải thiện đáng kể hiệu quả thử nghiệm của mẫu, cũng như đầu ra dữ liệu nhiều hơn.

Đưa nghiên cứu của bạn lên một cấp độ

Hình ảnh tốt hơn có thể đạt được bằng cách sử dụng máy phát điện tử lanthanum hexaboride

Các cathode lanthanum hexaboride đảm bảo chất lượng hình ảnh mà bạn cần bổ sung so với các điện tử phát ra từ các sợi tóc vonfram truyền thống. Lợi thế này thể hiện ở hai mặt sau:

• Có nhiều dòng đầu dò hơn để sử dụng ở kích thước đầu dò điện tử bằng nhau (tức là độ phân giải), giúp điều hướng và tối ưu hóa hình ảnh dễ dàng hơn

• Với dòng đầu dò bằng nhau (tỷ lệ tín hiệu nhiễu), đường kính điểm nhỏ hơn nhiều, do đó cải thiện độ phân giải hình ảnh
  

Các hạt xúc tác có độ phóng đại cao ở điện áp gia tốc thấp (trái: sử dụng dây tóc vonfram, phải: sử dụng dây tóc LaB6)
Trong điều kiện hình ảnh đầy thách thức, người dùng sử dụng dây tóc LaB6 sẽ có độ sáng chùm tia lên tới 10 lần, dẫn đến độ phân giải và độ tương phản hình ảnh được cải thiện.

EVO có thể kết nối với các thiết bị khác

Lợi ích của tự động hóa quy trình làm việc và kính hiển vi liên kết

Shuttle&Find kết hợp EVO, kính hiển vi quang học và kính hiển vi kỹ thuật số thành một quy trình làm việc đa phương thức liên kết

Vì Zeiss là nhà cung cấp tuyệt vời cho tất cả các loại kính hiển vi và hệ thống đo lường, bạn cũng có thể kết hợp EVO với các giải pháp khác của Zeiss để làm cho nó hoạt động tốt hơn.

Bằng cách sử dụng Shuttle&Find (phần mềm và phần cứng của kính hiển vi Zeiss), bạn có thể thiết lập một quy trình làm việc hiệu quả và đa chế độ giữa kính hiển vi quang học (kỹ thuật số) và EVO. Kết hợp các phương pháp tương phản quang học độc đáo của kính hiển vi quang học với các phương pháp phân tích và hình ảnh gương quét độc đáo tương tự để có được dữ liệu bổ sung cho phép hiểu rõ hơn về vật liệu, chất lượng hoặc cơ chế thất bại của mẫu.

Thông minh Zeiss

Giải pháp EDS tất cả trong một cho các ứng dụng phân tích vi mô SEM thông thường

Nếu không có sự hiểu biết đầy đủ về các thành phần hoặc mẫu chỉ bằng công nghệ hình ảnh SEM, các nhà nghiên cứu sẽ sử dụng máy quang phổ năng lượng (EDS) để thu thập thông tin về sự phân bố không gian của các thành phần hóa học của các nguyên tố.

• Tối ưu hóa cho các ứng dụng microanalytics thông thường

Việc sử dụng SEM và EDS phải được cân nhắc cẩn thận. SmartEDX trên EVO rất phù hợp cho các ứng dụng phân tích vi mô thông thường, đặc biệt là đối với những khách hàng có yêu cầu lặp lại dữ liệu cao. Nó có thông lượng cao ở độ phân giải năng lượng 129 eV và dòng đầu dò 1-5 nA (điều kiện làm việc EVO điển hình). SmartEDX phù hợp hơn để phát hiện tia X năng lượng thấp từ các nguyên tố nhẹ nhờ tỷ lệ truyền qua tuyệt vời của cửa sổ silicon nitride.

• Giao diện người dùng đồ họa để hướng dẫn luồng công việc

SmartEDX được thiết kế để cải thiện tính dễ sử dụng và lặp lại quy trình làm việc trong môi trường đa người dùng. Giống như các giải pháp phần mềm hướng dẫn luồng công việc khác của Zeiss như SmartSEM Touch, ZEN core hoặc Shuttle&Find của EVO, phần mềm SmartEDX rất dễ học, trực quan để sử dụng và giúp đảm bảo tính lặp lại của các tác vụ phân tích được thực hiện trên SEM, đặc biệt là trong môi trường nơi nhiều nhà khai thác sử dụng hệ thống.

• Đầy đủ các dịch vụ và hệ thống hỗ trợ Zeiss
  
  SmartEDX được Zeiss hỗ trợ đầy đủ, vì vậy giải pháp EDS này lý tưởng cho những khách hàng muốn hợp lý hóa số lượng nhà cung cấp thiết bị phân tích. Tất cả các nội dung trong cài đặt, bảo trì phòng ngừa, bảo hành, chẩn đoán và sửa chữa, hậu cần phụ tùng và hợp đồng dịch vụ hệ thống tổng thể là trách nhiệm của Zeiss, cung cấp hỗ trợ một cửa cho giải pháp phân tích SEM của bạn.
  

Dòng EVO

Lựa chọn kích thước buồng chân không

	Thương hiệu: EVO 10	Thương hiệu: EVO 15	Thương hiệu: EVO 25
	Chọn EVO 10 (tùy chọn BSD và EDS) là điểm vào mà bạn muốn mua kính hiển vi điện tử quét với giá rất phải chăng. Ngay cả khi buồng chân không EVO này nhỏ, nó không giống như gương để bàn. Đầu tư của bạn vào EVO đảm bảo rằng bạn đã sẵn sàng cho các ứng dụng trong tương lai đòi hỏi nhiều không gian và cổng hơn.	EVO 15 thể hiện đầy đủ khái niệm linh hoạt của gia đình EVO và xuất sắc trong các ứng dụng phân tích. Chọn một buồng chân không lớn hơn EVO 15 và tăng chế độ áp suất thay đổi để hình ảnh và phân tích các mẫu hoặc bộ phận không dẫn, bạn sẽ có một thiết bị kính hiển vi đa năng hoặc giải pháp phòng thí nghiệm đảm bảo chất lượng công nghiệp.	EVO25 là giải pháp chính cho ngành công nghiệp, có đủ không gian để chứa các thành phần và cụm lắp ráp thậm chí lớn hơn. Tùy chọn 80 mm Z Axis Stroke Carrier Table mở rộng hơn nữa chức năng của EVO 25, có thể xử lý các mẫu nặng tới 2 kg hoặc thậm chí nghiêng. Ngoài ra, một buồng chân không lớn sẽ có thể chứa nhiều máy dò phân tích để đáp ứng nhu cầu ứng dụng phân tích vi lượng đòi hỏi.
Chiều cao mẫu tối đa	100 mm	145 mm	210 mm
Đường kính mẫu tối đa	230 mm	250 mm	300 mm
Đột quỵ bàn vận chuyển điện XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (hoặc 80) mm
Chế độ chân không cao (HV) Hình ảnh và phân tích chất lượng mẫu dẫn điện
Chế độ áp suất biến đổi (VP) Hình ảnh chất lượng cao và phân tích các mẫu không dẫn điện và không phun lớp dẫn điện
Chế độ áp suất mở rộng (EP) Các mẫu chứa nước hoặc bị ô nhiễm được hình ảnh ở trạng thái tự nhiên của chúng

Trường hợp ứng dụng Zeiss EVO

Ví dụ ứng dụng

• Doanh nghiệp sản xuất và lắp ráp

• Công nghiệp điện tử

• Thép và các kim loại khác

• Nguyên liệu thô

• Khoa học vật liệu

• Khoa học đời sống

• Thẩm định tư pháp

• Doanh nghiệp sản xuất và lắp ráp

  

  Kẽm Phosphate Điện Coating Hình ảnh với SE Detector ở chế độ chân không cao

  

  Ghế ngồi ô tô Mat Foam Hình ảnh với máy dò BSE ở chế độ chân không thay đổi Mẫu không phun lớp dẫn

  

  Bề mặt vết nứt bằng thép không gỉ, chế độ chân không cao Hình ảnh điện tử thứ cấp

• Phân tích chất lượng/Kiểm soát chất lượng

• Phân tích thất bại/Phân tích kim loại

• Kiểm tra độ sạch

• Phân tích hình thái và hóa học của các hạt để đáp ứng các tiêu chuẩn 1 và 2 trong ISO 16232 và VDA 19

• Phân tích bao gồm phi kim loại