Máy mài ion

SEMPREP thông minhMáy mài ion

SEMPREP thông minhMáy mài ionĐược trang bị súng ion Argon năng lượng cao và tùy chọn năng lượng thấp. Thiết bị này lý tưởng cho việc xử lý và làm sạch cuối cùng để quét kính hiển vi điện tử (SEM) và các mẫu nhiễu xạ tán xạ lưng điện tử (EBSD). Gia công ion có thể cải thiện và làm sạch các mẫu SEM được đánh bóng cơ học và chuẩn bị bề mặt không phá hủy để phân tích EBSD. Thiết bị này cũng thích hợp để xử lý phần nhanh. Chuẩn bị các mẫu có độ chính xác cao và chất lượng cao cho bạn, chẳng hạn như trong thử nghiệm chất bán dẫn hoặc kiểm tra phần của màng ngăn pin lithium-ion.

Các tính năng chính:

• Thiết kế súng ion tiên tiến và chức năng tự động hóa

• Phần mềm vận hành thân thiện với người dùng mới: Hỗ trợ thông minh cho người dùng

• Van kim chính xác hơn: cho phép điều chỉnh tốt luồng không khí

• Điều chỉnh độ chính xác cao: cho hoạt động điều chỉnh tốt
• Cảm biến chân không cao tuổi thọ dài hơn

Chức năng sản phẩm:

• Súng năng lượng thấp (LEG)

• Hệ thống làm mát LN2 mới tùy chọn

• Thiết bị chuyển chân không tùy chọn (VTU) để lấy mẫu trong điều kiện chân không

• Bàn mẫu đối vị độc lập: để định vị mẫu chính xác khi xử lý 90 °

Thông số kỹ thuật:

Súng ion:

Súng ion năng lượng cực cao lên đến 16 keV

Kích thước mẫu

Phần mẫu bảng (30 °, 90 ° mẫu bảng tùy chọn):

• Bảng mẫu 30 °: Kích thước tối đa 16,4mm (L) x 16mm (W) x 3,1mm (dày)

• Bảng mẫu 90 °: Kích thước tối đa 18,6mm (L) x 16mm (W) x 6mm (dày)

Bàn mẫu phẳng để xử lý bề mặt (EBSD) với ba loại đầu khác nhau

• Loại đầu phẳng: Đường kính tối đa 50mm x 4mm

• Loại tiêu chuẩn: Đường kính tối đa 32mm x 15mm

• Loại rỗng: Đường kính tối đa 25mm x 23mm

Mẫu bàn di chuyển

• Góc nghiêng mẫu: 0 ° đến 30 °, điều chỉnh liên tục mỗi 0,1 °

• Điều chỉnh góc xoay mẫu: 360 Xoay mẫu có thể thay đổi tốc độ, điều chỉnh tốc độ góc

• Xử lý mẫu Con lắc góc (lắc): ± 10 ° đến ± 120 °, điều chỉnh liên tục mỗi 5 °

Làm mát mẫu (tùy chọn)

Làm mát nitơ lỏng hoặc làm mát Peltier

Hệ thống hút chân không

Bơm màng không dầu và bơm phân tử

Hệ thống cung cấp gas

Khí làm việc Argon với độ tinh khiết 99,999%, lưu lượng van kim chính xác caoKiểm soát

Bơm phân tử

HiPace 80 Neo.

Hệ thống hình ảnh

Máy ảnh CMOS 5 megapixel với chức năng đo bên trong hình ảnh

Điều khiển máy tính

Giao diện đồ họa dễ sử dụng, vận hành súng ion tự động và bàn mẫuHiệu chuẩn vị trí

Gia công bằng cách sử dụng bó ion argon