Dữ liệu CAD có thể được đọc bởi phần mềm lập trình đo lường ngoại tuyến _Virtual AutoMeasure, với các bước hoạt động tương tự như lập trình đo lường trực tuyến. Vì một số lượng lớn các câu lệnh đo lường có thể được biên soạn trên một máy tính khác với VirtualAutoMeasure, hệ thống NEXIV có thể tập trung vào đo lường tự động.
Hỗ trợ IGES, DXF, DMIS, NC, Gerber và Excellon, v.v.
Các cách được chỉ định với nhiều yếu tố CAD để dễ dàng lập trình tự động;
Có thể sử dụng cửa sổ CAD để điều khiển chuyển động mô phỏng của phôi, phong cách hoạt động, các bước tương tự như NEXIV AutoMeasure;
Trong quá trình lập trình đo lường, cho phép sử dụng nhiều macro được biên soạn trước, chẳng hạn như: macro đo chiều rộng đường, macro tìm kiếm nhiều mẫu, v.v.