Kính hiển vi lực nguyên tử Park Systems NX10

Hình ảnh chính xác,Không có hiện tượng ghép chéo

Độ trục XYZ vượt trội trong ngành, mẫu và đầu dò được điều khiển bằng máy quét hướng dẫn linh hoạt độc lập

* Độ lệch mặt phẳng thấp, độ lệch mặt phẳng không vượt quá 1 nanomet khi quét ngang toàn bộ quá trình

Tuyến tính tốt hơn 0,015% khi mở rộng toàn bộ quá trình của máy quét dọc

Tối ưu hóa hiện tượng ringing máy quét ngang, thuật toán sine-scan chuyển tiếp khoa học

Quét chính xác, chế độ không tiếp xúc thực sự

Máy quét dọc vượt trội trong ngành với băng thông hơn 9kHz và tốc độ phản hồi servo dọc đầu dò trên 62mm/giây

* Tốc độ quét nhanh ở chế độ không tiếp xúc

Độ mòn đầu dò cực thấp, có thể đảm bảo quét chất lượng cao trong thời gian dài

Thiệt hại mẫu rất thấp

Đo lường chính xác, hình dạng mẫu thực

Sử dụng máy dò độ trễ tiếng ồn thấp ưu việt trong ngành để đo hình dạng mẫu

Độ lệch đo cực nhỏ của ngành công nghiệp cao cấp, nhỏ hơn 0,15%

Sử dụng các bộ phận tản nhiệt được tối ưu hóa, giảm đáng kể hiện tượng trôi nhiệt và chậm trễ của hệ thống

Vỏ cách âm tiên tiến mạnh mẽ, kiểm soát nhiệt độ hoạt động bên trong cabin Hiệu quả làm việc của người dùng

Thiết kế mở, dễ dàng thay thế đầu dò và mẫu

Thiết kế kẹp định vị đầu dò, quá trình điều chỉnh laser đo lường đơn giản và thuận tiện, hệ thống quan sát trực quan từ trên xuống dưới

** Chức năng "mười giây đầu vào", đầu dò có thể tự động hoàn thành hoạt động đầu vào ở tốc độ cao

Hộp điều khiển điện kỹ thuật số 24 chữ số, ba bộ lưu trữ khóa tích hợp với chức năng hiệu chuẩn hằng số Q-control và đàn hồi

Thông số kỹ thuật

XYMáy quét

Loại điều khiển vòng kín Mô-đun đơn Máy quét XY linh hoạt

Phạm vi quét: 50

μm × 50 μm (tùy chọn 100

μm × 100 μm)

Độ phân giải:

0.05 nmPhát hiện tiếng ồn định vị:<0,3 nm (băng thông: 1 kHz)

Tuyến tính ngang:<2nm (over 40)

μm scan)

Z

Máy quét

Hướng dẫn linh hoạt Máy quét cường độ cao

Phạm vi quét: 15

μm (tùy chọn 30μm)

Độ phân giải:

0.015 nm

Phát hiện tiếng ồn định vị: 0,03 nm (băng thông: 1 kHz)

Tần số cộng hưởng:

> 9 kHz (typically 10.5 kHz)

Độ ồn hình ảnh bề mặt:<0,03 nm (0,02 nm typical)

Hệ thống quang học

Hệ thống quang học đồng trục trực tiếp cho các mẫu và đầu dò có thể quan sát được
视场: 480
× 360 μm (10 × ống kính mục tiêu)

CCD: 1M pixel (Độ phân giải pixel: 0,4μm)
Mục tiêu
10x (0,21 NA) Ống kính cho phạm vi hoạt động siêu dài (độ phân giải 1μm)

20x (0,42 NA) Ống kính có độ phân giải cao Phạm vi hoạt động dài (độ phân giải 0,6μm)

Xử lý tín hiệu

ADC: 18 kênh

4 kênh ADC tốc độ cao (50 MSPS)

ADC 24-bit cho cảm biến định vị máy quét X, Y và Z

DAC: 12 kênh

2 kênh DAC tốc độ cao (50 MSPS)

20-bit DAC được định vị bởi máy quét X, Y và Z