Toàn bộ quá trình khử trùng của máy phát điện hydro peroxide được chia thành 5 giai đoạn: hút ẩm, làm nóng trước, điều chỉnh, khử trùng, xả dư lượng, các giai đoạn cụ thể như sau:
(1) Giai đoạn hút ẩm
Giảm độ ẩm tương đối của môi trường trong nhà xuống mức độ ẩm cần thiết để khử nhiễm sinh học thông qua hệ thống điều hòa không khí phòng sạch; Độ ẩm tương đối ≤55% RH, sau đó tắt hệ thống điều hòa không khí;
(2) Giai đoạn khởi động
Thiết bị được xử lý bằng cách làm nóng trước đường ống của chính nó để đảm bảo rằng khí hydro peroxide bốc hơi không bị ngưng tụ lạnh trong đường ống, làm cho khí bốc hơi đầy đủ;
(3) Giai đoạn điều chỉnh
Dung dịch hydro peroxide được bơm vào vaporizer để bay hơi thành hơi hydro peroxide và được đưa vào không gian kín bằng quạt cho đến khi đạt được nồng độ mong muốn;
(4) Giai đoạn khử trùng
Tự động điều chỉnh liều lượng, tiếp tục đầu vào hơi hydro peroxide và duy trì nồng độ mong muốn;
(5) Giai đoạn dư lượng trung đội
Ngừng đầu vào hơi hydro peroxide, thiết bị tự động bước vào giai đoạn khử cặn hydro peroxide, loại bỏ cặn đường ống thiết bị, thông qua hệ thống khử cặn của thiết bị và hệ thống thông gió của không gian khử trùng để loại bỏ cặn hơn nữa, cho đến khi nồng độ hydro peroxide đạt dưới nồng độ an toàn.