Với sự phát triển của sản xuất, nhu cầu về chất lượng và an toàn của sản phẩm ngày càng cao. Trong nhiều quy trình sản xuất, chân không là một liên kết quan trọng và rò rỉ từ hệ thống chân không có thể ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và chất lượng của sản phẩm. Để đảm bảo độ tin cậy và ổn định của hệ thống chân không, công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến đã ra đời.
Công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến là một cách để biết liệu một hệ thống có rò rỉ hay không bằng cách phát hiện tốc độ suy giảm trong hệ thống chân không. Nguyên tắc của nó dựa trên hai điểm sau:
Tốc độ phân rã của hệ thống chân không tỷ lệ thuận với lượng rò rỉ: Khi có rò rỉ trong hệ thống chân không, khí trong hệ thống sẽ liên tục xâm nhập vào hệ thống, dẫn đến giảm độ chân không của hệ thống và tăng tốc độ phân rã. Do đó, bằng cách theo dõi tốc độ phân rã của hệ thống chân không, người ta có thể gián tiếp xác định liệu hệ thống có bị rò rỉ hay không.
Tốc độ phân rã của hệ thống chân không bị ảnh hưởng bởi nhiều yếu tố: ngoài rò rỉ, tốc độ phân rã của hệ thống chân không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố như hấp thụ khí, khử khí và rò rỉ khí từ chính hệ thống. Do đó, công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến cần xem xét và loại trừ ảnh hưởng của các yếu tố này để xác định chính xác liệu hệ thống có rò rỉ hay không.
Công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến được sử dụng rộng rãi trong kiểm soát chất lượng và phát hiện các hệ thống chân không khác nhau, đặc biệt thích hợp cho các tình huống sau:
Hệ thống chân không của tàu vũ trụ có khả năng chịu được rò rỉ cực kỳ thấp, do đó cần có công nghệ phát hiện rò rỉ có độ chính xác cao để đảm bảo độ tin cậy và an toàn của hệ thống. Quá trình sản xuất thiết bị bán dẫn cần được thực hiện trong môi trường chân không cực cao, yêu cầu rò rỉ nghiêm ngặt đối với hệ thống chân không, vì vậy công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến trở thành công cụ không thể thiếu. Hệ thống chân không trong thiết bị y tế rất quan trọng đối với sự an toàn tính mạng của bệnh nhân, vì vậy cần có công nghệ phát hiện rò rỉ đáng tin cậy để đảm bảo độ tin cậy và an toàn của thiết bị.
Công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến có một số ưu điểm so với các phương pháp phát hiện rò rỉ truyền thống:
Công nghệ phát hiện rò rỉ suy giảm chân không trực tuyến có thể theo dõi tốc độ suy giảm của hệ thống chân không trong thời gian thực, phát hiện rò rỉ trong hệ thống kịp thời, giảm tác động của rò rỉ đối với quá trình sản xuất. Các rò rỉ nhỏ có thể được phát hiện, cải thiện độ nhạy và độ chính xác của việc phát hiện rò rỉ. Không cần phát hiện phá hoại hệ thống chân không, không ảnh hưởng đến hoạt động bình thường của hệ thống, giảm chi phí phát hiện và rủi ro. Nó có thể được kết hợp với dây chuyền sản xuất tự động để đạt được tự động hóa và thông minh hóa phát hiện rò rỉ, nâng cao hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm.