Công ty TNHH Kiểm tra Môi trường Tô Châu Yikang

Đề án kiểm tra phòng sạch công nghiệp điện tử

Mục phát hiện phòng sạch Số lần thay đổi không khí (tốc độ gió), chênh lệch áp suất, nhiệt độ, độ ẩm, tiếng ồn, độ sáng, độ sạch (hạt bụi)

Đơn vị khách hàng:***Công ty điện tử

Danh sách dụng cụ phát hiện

1Kiểm tra lượng gió hoặc tốc độ gió phải phù hợp với các quy định sau đây:

1 Đối với buồng sạch dòng chảy một chiều, lượng không khí cung cấp nên được xác định bằng phương pháp tốc độ gió trung bình phần và sản phẩm phần, và bộ lọc HEPA nên được lấy ra khỏi300mmPhần vuông góc với luồng không khí đóng vai trò là mặt phẳng thử nghiệm. Mặt phẳng thử nghiệm nên được chia thành các lưới bằng nhau, mỗi kích thước lưới phải là600mm × 600mmhoặc kích thước bộ lọc không khí cuối, điểm đo phải ở trung tâm lưới hoặc không ít hơn 3 Điểm. Thời gian kiểm tra mỗi điểm không nên ít hơn10 phút. Các giá trị trung bình, tối đa và tối thiểu phải được ghi lại và tốc độ gió trung bình phải được tính bằng trung bình số học.

2 Đối với phòng sạch dòng chảy không một chiều, thời gian thử nghiệm tại mỗi điểm không được ít hơn10 phút。

3 Tốc độ cung cấp không khí được xác định bằng cách đo tốc độ gió như phương pháp che gió của bộ lọc không khí ở mỗi đầu và số điểm đo ở mỗi vị trí thử nghiệm không được nhỏ hơn 3 Điểm.

2 Kiểm tra chênh lệch áp suất tĩnh, phải tuân thủ các quy định sau:

1 Việc xác định chênh lệch áp suất tĩnh nên được thực hiện khi tất cả các cửa đều đóng.

2 Dụng cụ phù hợp với các loại vi áp kế khác nhau, độ nhạy của dụng cụ nên nhỏ hơn1.0Pa。

3 Khi một nhà máy sạch có nhiều phòng sạch (khu vực), nó nên bắt đầu với một bài kiểm tra chênh lệch áp suất của phòng trong cùng với các phòng liền kề và nên được kiểm tra ra ngoài theo thứ tự.

4Mỗi phòng lấy một điểm kiểm tra

3. Việc kiểm tra độ sạch phải phù hợp với các quy định sau đây:

1 Số lượng mẫu nên được sử dụng lớn hơn1 L / phútBộ đếm hạt quang học, nên chọn dụng cụ theo khả năng phân biệt kích thước hạt, phạm vi áp dụng nồng độ hạt và hiệu quả đếm và các yêu cầu khác. Dụng cụ phải có giấy chứng nhận hợp lệ.

2 Điểm lấy mẫu tối thiểu phải được tính bằng cách nhấn:

NL= √ ACông thức ——Điểm lấy mẫu tối thiểu;

(A) -Vùng Đất Khắc NghiệtNo Man's Land (m²）。

Các điểm lấy mẫu phải được phân bố đều trên toàn bộ diện tích của phòng sạch (khu vực) và phải ở độ cao của khu vực làm việc.

3 Mỗi khối lượng lấy mẫu tại mỗi điểm lấy mẫu phải được xác định bằng cách nhấn:

VS=[20 / Cn, m]là100

Công thức Với –Số lượng mẫu cho mỗi điểm lấy mẫu, vớiLBiểu thị, khiVsKhi rất lớn, bạn có thể sử dụng phương pháp lấy mẫu thứ tự. Thời gian lấy mẫu tối thiểu cho mỗi điểm lấy mẫu là1 phútSố lượng mẫu phải ít nhất là2L；

Cn, m——Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (p / m³）；

20 ——Khi quy định giới hạn mức độ sạch không khí của các hạt có kích thước hạt được đo, số hạt (hạt) có thể đo được.

Kết quả tính toán số lượng mẫu tại các điểm lấy mẫu đơn cho phòng sạch ở tất cả các cấp

1. Phòng sạch 100 tầng (ví dụ: 1 Phân xưởng,2/3phòng thí nghiệm)

˜≥ 0,5 μmLượng mẫu hạt：

· VS=[20 / Cn, m]là100=[20/3520] là100 = 0,568L

· Thông báo cập nhật phần mềm QLTN Hồ sơ (((0,568L）＜2LCần lấy theo yêu cầu cưỡng chế.2L。

˜≥5μmLượng mẫu hạt：

· VS=[20 / Cn, m]là100=[20/29] là100 = 68,97L

• Tiêu chuẩn thực hiện thực tế: 100 điểm lấy mẫu đơn của phòng sạch cần theo≥68,97LLấy mẫu (bao gồm hai kích thước hạt).100L / phútBộ đếm, thời gian lấy mẫu1phút

2. 1.000 phòng sạch (ví dụ: 5 Hội thảo)

˜≥ 0,5 μmLượng mẫu hạt：

· VS=[20 / Cn, m]là100=[20/35200] là100 = 0,0568L

· Thông báo cập nhật phần mềm QLTN Hồ sơ (((0,0568L）＜2LCần lấy theo yêu cầu cưỡng chế.2L。

˜≥5μmLượng mẫu hạt：

· VS=[20 / Cn, m]là100=[20/293] là100 = 6,83L

• Tiêu chuẩn thực hiện thực tế: 100 điểm lấy mẫu đơn của phòng sạch cần theo≥68,97LLấy mẫu (bao gồm hai kích thước hạt).100L / phútBộ đếm, thời gian lấy mẫu1phút

3.Vạn cấp phòng sạch

˜≥ 0,5 μmLượng mẫu hạt：

· VS=[20 / Cn, m]là100=[20/352000] là100 = 0,00568L

· Thông báo cập nhật phần mềm QLTN Hồ sơ (((0,00568L）＜2LCần lấy theo yêu cầu cưỡng chế.2L。

˜≥5μmLượng mẫu hạt：

· VS=[20 / Cn, m]là100=[20/2930] là100 = 0,683L

• Tiêu chuẩn thực hiện thực tế: Điểm lấy mẫu đơn của phòng sạch vạn cấp thống nhất theo≥2LLấy mẫu, khi sử dụng bộ đếm lưu lượng bất kỳ, thời gian lấy mẫu≥1 phút(Ví dụ như100L / phútKiểm tra mẫu truy cập1phút)

4Số mẫu

Điểm lấy mẫu không được nhỏ hơn2Số lần lấy mẫu không ít hơn5Thứ hai

4Kiểm tra nhiệt độ, độ ẩm tương đối phải phù hợp với các quy định sau đây:

1 Việc phát hiện nhiệt độ, độ ẩm tương đối nên được kiểm tra ở trạng thái đồng đều của sự phân bố luồng không khí trong phòng sạch (khu vực) và nên được sắp xếp sau khi hệ thống điều hòa không khí sạch hoạt động thử nghiệm đủ điều kiện. Kiểm tra nhiệt độ và độ ẩm nên được thực hiện sau khi hệ thống điều hòa không khí tinh khiết đã hoạt động và ít nhất phải hoạt động ổn định.

2 Kiểm tra độ ẩm tương đối nên chia không gian làm việc sạch thành một lưới các khu vực bằng nhau, diện tích tối đa của mỗi ô phải là100m²Mỗi phòng nên có một điểm đo, nhưng mỗi phòng không nên ít hơn. 2 Điểm đo.

3 Máy dò để phát hiện phải được đặt ở độ cao làm việc trong phòng sạch (khu vực) và phải cách trần, tường và mặt đất của phòng sạch (khu vực) không ít hơn300mm. Và phải xem xét ảnh hưởng của các nguồn nhiệt có thể có trong phòng sạch (khu vực).

4 Thời gian phát hiện ít nhất1 giờÍt nhất phải có6 phútTiến hành 1 Chiều dày mối hàn góc (30 tuổi) Đọc, ghi chép.

5.Kiểm tra độ sáng, phải tuân thủ các quy định sau:

1 Kiểm tra độ sáng trong phòng sạch (khu) thích hợp áp dụng máy đo độ sáng tự động ghi lại cầm tay.

2 Kiểm tra độ sáng nên được thực hiện sau khi nhiệt độ trong nhà ổn định và đầu ra ánh sáng của nguồn sáng ổn định. Phát hiện độ sáng trong phòng sạch (khu vực) không nên bao gồm chiếu sáng cục bộ và chiếu sáng dự phòng cho thiết bị sản xuất, v.v.

3 Điểm phát hiện độ sáng phải được đặt ở độ cao làm việc, thích hợp từ mặt đất0,85 mMỗi25m²Thiết lập một điểm đo.

6Phát hiện tiếng ồn

E.6.1Thông thường chỉ kiểm traMộtTiếng ồn của mức âm thanh, nếu cần thiết, có thể sử dụng máy đo mức âm thanh với máy phân tích Octave, theo tần số trung tâm 63、125、250、500、1000、2000、4000、Từ 8000HzPhát hiện tần số gấp đôi, gần điểm đo.1 métBên trong không nên có phản xạ. Thang đo âm thanh tối thiểu không nên thấp hơn0,2 dB（Một）。

E.6.2Đo độ cao từ mặt đất1.1m. Diện tích trong15m²Phòng sạch sau đây chỉ có thể đo trung tâm phòng 1 Điểm,15m²Các trung tâm ngoại trừ phòng sạch 1 Bên ngoài điểm, nên đo lại đường chéo. 4 Điểm, cách tường bên hông.1 métĐiểm đo hướng về các góc.

E.6.3Khi là phòng sạch dòng chảy hỗn hợp, tiếng ồn của khu vực dòng chảy một chiều, khu vực dòng chảy không một chiều nên được xác định riêng biệt.

E.6.4Khi có điều kiện, nên xác định tiếng ồn cơ bản sau khi hệ thống lọc điều hòa không khí ngừng hoạt động, tiếng ồn trong nhà và tiếng ồn cơ bản khác nhau ít hơn10 dB（Một(Khi đo, hãy sửa chữa giá trị đo lường: chênh lệch)6～9）dB（Một) Thời gian giảm1 dB（Một(Sự khác biệt)4～5）dB（Một) Thời gian giảm2dB（Một) Sự khác biệt3dB（Một) Thời gian giảm3dBChênh lệch nhỏ hơn3dB（Một) Giá trị đo lường không hợp lệ.

7, tiêu chuẩn phán định