Máy làm lạnh phòng thí nghiệm hóa chất ｜ Yêu cầu phù hợp chính xác phi tiêu chuẩn

Máy làm lạnh phòng thí nghiệm hóa chất ｜ Yêu cầu phù hợp chính xác phi tiêu chuẩn

Máy làm lạnh phòng thí nghiệm hóa chất ｜ Yêu cầu phù hợp chính xác phi tiêu chuẩn

Máy làm lạnh nước của nhà máy bán dẫn trong các ứng dụng kiểm soát nhiệt độ giải phóng cao cần đáp ứng các yêu cầu về độ ổn định nhiệt độ khắc nghiệt, tản nhiệt nhanh và chống ăn mòn, sau đây là phân tích kịch bản ứng dụng cốt lõi và các điểm kỹ thuật:

I. Các ứng dụng điển hình trong các tình huống giải phóng nhiệt cao

1, quá trình khắc（Như cắt plasma）

Điện trường tần số cao tạo ra nhiệt độ cao tức thì, máy làm lạnh nước cần tản nhiệt nhanh để duy trì nhiệt độ khoang ổn định, tránh dao động tốc độ khắc.

2, tiêm ion

Nhiệt tập trung được tạo ra khi chùm ion năng lượng cao bắn phá wafer. Máy làm lạnh nước cần làm mát đĩa mục tiêu và các bộ phận dòng chảy chùm để ngăn chặn thiệt hại mạng và pha tạp không đồng đều.

3, khuếch tán và oxy hóa

Khi nhiệt độ lò cao, máy làm lạnh nước cần nhanh chóng mang nhiệt đi, ngăn chặn thân lò quá nóng và duy trì tính đồng đều nhiệt độ, tránh làm cong vênh wafer do ứng suất nhiệt.

4,Đánh bóng cơ khí hóa học（CMP）

Ma sát đánh bóng tạo ra nhiệt độ cao dễ dẫn đến chất lỏng đánh bóng bay hơi, máy làm lạnh nước cần làm mát miếng đánh bóng và hệ thống truyền dẫn, giảm khuyết tật bề mặt.

5, lắng đọng phim（CVD / PVD）

Buồng phản ứng Khí nhiệt độ cao cần được làm mát nhanh chóng để ngăn chặn phản ứng phụ;Làm mát mục tiêu phún xạ kéo dài tuổi thọ và nâng cao tính đồng nhất của phim.

II. Khó khăn kỹ thuật và giải pháp kiểm soát nhiệt độ cao

1,Kiểm soát nhiệt độ chính xác cao

Cần thực hiện±0.5℃Kiểm soát nhiệt độ chính xác, thông qua hệ thống làm lạnh đa giai đoạn và năng độngPIDThuật toán điều chỉnh.

2Khả năng hạ nhiệt nhanh

Một số cảnh cần thực hiện giảm nhiệt độ chênh lệch lớn trong thời gian ngắn, áp dụng máy nén và máy trao đổi nhiệt bảng để nâng cao hiệu quả làm lạnh.

3Thiết kế rung động thấp và tiếng ồn thấp

Vỏ cách âm của máy nén và cấu trúc hấp thụ sốc có thể ngăn chặn rung động can thiệp vào quá trình in thạch bản và các quy trình khác.

Thông minh và tối ưu hóa hiệu quả năng lượng

Tích hợp cảm biến áp suất và van ba chiều điện từ để nhận ra dòng giảm áp và chuyển đổi tuần hoàn bên trong;Hệ thống giám sát thông minh giảm tiêu thụ năng lượng.

III. Lựa chọn điểm của máy làm lạnh nước

1Phù hợp với lượng lạnh

Chọn công suất làm lạnh lớn hơn một chút so với nhu cầu dựa trên tản nhiệt của thiết bị（Như thiết kế dự phòng）Tránh mất hiệu lực điều khiển nhiệt độ do quá tải hoặc hiệu quả thấp.

2Lựa chọn phương pháp làm lạnh

Cảnh công suất cao thích làm mát bằng nước（Hiệu quả cao）Không gian bị hạn chế sử dụng loại làm mát bằng không khí（Linh hoạt nhưng kém hiệu quả）。

3,Vật liệu phù hợp với công nghệ

Tùy chọn chức năng chống cháy nổ cách ly;

Áp dụng máy nén tần số biến tần để đáp ứng các tiêu chuẩn sản xuất của nhà máy bán dẫn.

Kịch bản xả nhiệt cao của nhà máy bán dẫn đối với độ chính xác kiểm soát nhiệt độ và hiệu quả tản nhiệt của máy làm lạnh nước là nghiêm ngặt. Máy làm lạnh nước bán dẫn nhiệt độ không đổi Guanya hỗ trợ kiểm soát nhiệt độ đa kênh. Nó bao gồm toàn bộ quá trình từ sản xuất wafer đến thử nghiệm đóng gói, cần kết hợp với các yêu cầu quy trình tùy chỉnh và lựa chọn loại.