F3 Single Point Độ dày màng Tester

Có thể đàm phánCập nhật vào02/24

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

F3 Single Point Độ dày màng Tester

Chi tiết sản phẩm

Sê-ri Filmetrics của KLA sử dụng công nghệ phản xạ quang phổ để đạt được phép đo chính xác độ dày của màng, phạm vi đo từ nm-mm, có thể đạt được phép đo chính xác độ dày của màng như photoxelate, oxit, silicon hoặc màng bán dẫn khác, màng hữu cơ, màng trong suốt dẫn điện và các lĩnh vực khác, được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, vi điện tử, y sinh học và các lĩnh vực khác. Với nhiều sản phẩm như F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t, Filmetrics có thể đo mẫu có kích thước từ vài mm đến 450mm, phạm vi đo độ dày màng 1nm đến lớp mm. F3-sX có thể kiểm tra độ dày của nhiều lớp chất bán dẫn và điện môi, có thể đo độ dày tối đa lên đến 3 mm. Dòng F3-sX được cấu hình với đường kính điểm kiểm tra 10 micron, do đó có thể đo nhanh và dễ dàng lớp màng vật liệu mà các dụng cụ kiểm tra độ dày màng khác không thể đo được.

Nguyên tắc đo - phản xạ quang phổ

Spectrum Elliptical Polarizer (SE) và Spectrum Reflector (SR) đều sử dụng ánh sáng phản xạ phân tích để xác định độ dày và chỉ số khúc xạ của điện môi, chất bán dẫn và màng kim loại. Sự khác biệt chính giữa hai loại này là máy đo thiên vị elliptical đo ánh sáng phản xạ từ màng mỏng ở một góc nhỏ, trong khi máy đo phổ đo ánh sáng phản xạ thẳng đứng từ màng mỏng. Máy phản xạ quang phổ đo ánh sáng thẳng đứng, bỏ qua hiệu ứng phân cực (phần lớn các màng là đối xứng quay). Bởi vì nó không liên quan đến bất kỳ thiết bị di động nào, máy phản xạ quang phổ trở thành một công cụ đơn giản và chi phí thấp. Máy phản xạ quang phổ có thể dễ dàng được tích hợp để thêm vào phân tích truyền ánh sáng mạnh mẽ hơn. Máy phản xạ quang phổ thường được ưa thích cho độ dày màng mỏng hơn 10um, trong khi máy thiên vị elip tập trung vào độ dày màng mỏng hơn 10nm. Từ độ dày 10nm đến 10um, cả hai công nghệ đều có sẵn. Và với các tính năng phản xạ quang phổ nhanh, dễ dàng và chi phí thấp thường là lựa chọn tốt hơn.

I. Chức năng chính

Ứng dụng chính

Đo độ dày màng dày hơn, chỉ số khúc xạ, phản xạ và thâm nhập:

Năng lực kỹ thuật

Phạm vi bước sóng phổ: 380-1580 nm

Phạm vi đo độ dày: 10nm-3mm

Đo n&k Độ dày tối thiểu: 50 nm

Độ chính xác: Lấy giá trị lớn hơn, 50nm hoặc 0,2%

Độ chính xác: 5nm

Độ ổn định: 5nm

Kích thước điểm: 10 µm

Kích thước mẫu: Đường kính từ 1mm đến 300mm hoặc lớn hơn