F30 Kiểm tra độ dày màng nội tuyến

Có thể đàm phánCập nhật vào02/24

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

F30 Kiểm tra độ dày màng nội tuyến

Chi tiết sản phẩm

Một,Giới thiệu

Sê-ri Filmetrics của KLA sử dụng công nghệ phản xạ quang phổ để đạt được phép đo chính xác độ dày của màng, phạm vi đo từ nm-mm, có thể đạt được phép đo chính xác độ dày của màng như photoxelate, oxit, silicon hoặc màng bán dẫn khác, màng hữu cơ, màng trong suốt dẫn điện và các lĩnh vực khác, được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, vi điện tử, y sinh học và các lĩnh vực khác. Với nhiều sản phẩm như F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t, Filmetrics có thể đo mẫu có kích thước từ vài mm đến 450mm, phạm vi đo độ dày màng 1nm đến lớp mm. Các sản phẩm của Filmetrics F30 Series đo tỷ lệ lắng đọng, độ dày lớp lắng đọng, hằng số quang học (giá trị n và k) và chất bán dẫn và lớp điện môi trong thời gian thực trong lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), giãn nở chùm phân tử (MBE) và các quá trình lắng đọng khác thông qua hệ thống phản xạ quang phổ, và màng được đo có thể được mịn màng và bán trong suốt, hoặc F30 hấp thụ nhẹ có thể phát hiện theo dõi độ phản xạ, độ dày và tỷ lệ lắng đọng thông qua sự mở rộng chùm phân tử và kỹ thuật lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại, đo màng. Điều này thực sự bao gồm bất kỳ vật liệu bán dẫn nào từ gali nhôm nitride đến gali indiphos asen.

Nguyên tắc đo lường-Phản xạ quang phổ

Quang phổPhân cực Elliptical(SE) và Spectrum Reflector (SR) đều sử dụng ánh sáng phản xạ phân tích để xác định độ dày của điện môi, chất bán dẫn, và màng kim loại vàChỉ số khúc xạ. Sự khác biệt chính giữa hai là đo độ lệch elliptical góc nhỏ từphimÁnh sáng phản xạ, trong khi máy đo quang phổ đo ánh sáng phản xạ thẳng đứng từ màng mỏng. Máy phản xạ quang phổ đo ánh sáng thẳng đứng, bỏ qua hiệu ứng phân cực (phần lớn các màng là đối xứng quay). Bởi vì nó không liên quan đến bất kỳ thiết bị di động nào, máy phản xạ quang phổ trở thành một công cụ đơn giản và chi phí thấp. Máy phản xạ quang phổ có thể dễ dàng được tích hợp để thêm vào phân tích truyền ánh sáng mạnh mẽ hơn. Máy phản xạ quang phổ thường được ưa thích cho độ dày màng mỏng hơn 10um, trong khi máy thiên vị elip tập trung vào độ dày màng mỏng hơn 10nm. Từ độ dày 10nm đến 10um, cả hai công nghệ đều có sẵn. Và với các tính năng phản xạ quang phổ nhanh, dễ dàng và chi phí thấp thường là lựa chọn tốt hơn.