Máy làm lạnh nước phòng thí nghiệm ｜ Chương trình điều khiển nhiệt độ tùy chỉnh hoạt động dễ dàng

Máy làm lạnh nước phòng thí nghiệm ｜ Chương trình điều khiển nhiệt độ tùy chỉnh hoạt động dễ dàng

Máy làm lạnh nước phòng thí nghiệm ｜ Chương trình điều khiển nhiệt độ tùy chỉnh hoạt động dễ dàng

Sau đây là các điểm phân tích kỹ thuật và ứng dụng của máy làm lạnh sâu tần số để cung cấp nguồn lạnh cho quá trình sản xuất chất bán dẫn, kết hợp với nhu cầu công nghiệp và trình bày tổng hợp dữ liệu tìm kiếm:

I. Kịch bản ứng dụng cốt lõi trong sản xuất chất bán dẫn

1Công đoạn chế tạo tinh thể then chốt

Quá trình in thạch bản: Cần làm mát nhanh chóng các thành phần nguồn sáng của máy in thạch bản（như laser, ống kính）Tránh dao động nhiệt độ làm thay đổi độ nhớt của keo quang khắc, ảnh hưởng đến độ chính xác của ánh sáng. Biến tần sâu làm mát bằng cách điều chỉnh động tốc độ máy nén, nhận ra±0.1℃Điều khiển nhiệt độ chính xác, đảm bảo độ phân giải của chip.

2,Khắc và lắng đọng phim

Cắt plasma vàCVD / PVDTrong quá trình này, nhiệt độ buồng phản ứng cần ổn định trong-40℃~200℃Vùng nhiệt độ rộng, biến tần sâu lạnh thông qua hệ thống làm lạnh đa giai đoạn（Chẳng hạn như tấm làm lạnh bán dẫn trong loạt）Nhanh chóng dẫn nhiệt, ảnh hưởng đến phản ứng phụ và nâng cao tính đồng nhất của màng.

3,Làm sạch và đánh bóng tinh thể

Nhiệt độ chất lỏng làm sạch cần được kiểm soát chính xác để ngăn dung dịch hóa học làm hỏng bề mặt wafer do biến động nhiệt độCMPLàm mát pad đánh bóng trong quá trình để giảm khuyết tật bề mặt do nhiệt ma sát.

4Phân đoạn đóng gói và kiểm tra

Trong quá trình bảo dưỡng chip, ủ và các quá trình khác, máy làm lạnh sâu được cung cấp-80℃Môi trường nhiệt độ thấp（Nếu sử dụng chất làm lạnh glycol）Tăng tốc quá trình cố định và giảm ứng suất nhiệt, nâng cao độ tin cậy của việc đóng gói.

2- Lựa chọn và vận hành

Khả năng làm lạnh phù hợp

Các khoản phụ cấp cần được dành riêng dựa trên tải nhiệt cao điểm của quá trình, chẳng hạn như đánh giá tản nhiệt của một thiết bị khắc50kW công suấtChọn chế độ lạnh≥ 60 kWTổ máy lạnh lẽo.

Môi trường phù hợp

Cảnh phòng sạch cần cấu hìnhHệ thống HEPAHệ thống lọc;Môi trường ăn mòn Ưu tiên vật liệu hợp kim titan;Phòng cháy nổ yêu cầu trường hợp chọn loại máy cách ly phòng cháy nổ.

Với lợi thế của vùng nhiệt độ rộng, độ chính xác cao và thông minh, việc lựa chọn loại cần xem xét sự phù hợp của công nghệ, có thể liên hệ với kỹ sư nhiệt độ không đổi Guanya để cung cấp dịch vụ lựa chọn cho bạn.