Bàn thăm dò tay TS200 8 inch

Hệ thống mô tả thiết bị công suất cao MPI được thiết kế đặc biệt để kiểm tra thiết bị công suất cao trên wafer. Hệ thống thăm dò MPI TS200-HP cung cấp giải pháp wafer 200mm hoàn chỉnh. Chúng được thiết kế để đạt được các phép đo điện trở tiếp xúc thấp của chất bán dẫn công suất trên một phạm vi nhiệt độ rộng.

II. Mô tả sản phẩm

1. Thiết kế đa ứng dụng một máy

Thích hợp cho nhiều ứng dụng đo lường wafer, chẳng hạn như mô tả và mô hình hóa đặc điểm thành phần, độ tin cậy cấp wafer (WLR), phân tích lỗi (FA), kỹ thuật mạch tích hợp, hệ thống cơ điện nhỏ (MEMS)

2. Thiết kế công thái học và an toàn

• Nhanh chóng phát hành kéo không khí nổi mang bảng thiết kế thuận tiện một tay hoạt động
• Bàn làm việc chắc chắn có thể mang tới 10 HV điện áp cao hoặc 4 Microlocator HC hiện tại cao
• Hộp bảo vệ điện từ và bảng ArcShield được thiết kế để bảo vệ an toàn cho đo lường điện áp cao
• Thiết kế tay cầm nâng cao (contact-separation-loading) cho khả năng tái tạo cao

3. Tùy chọn đàn hồi và nâng cấp

Ngoài ra còn có nhiều tùy chọn kết nối thiết bị và bàn vận chuyển tinh thể có thể được nâng cấp, cũng có nhiều phụ kiện như bộ định vị vi mô DC/RF/mmW, kính hiển vi quang học, ống kính hình ảnh, hộp che chắn điện từ, v.v. để hỗ trợ đầy đủ nhu cầu ứng dụng

III. Tính năng và lợi thế

1. Giai đoạn không khí

Thiết kế nền tảng vòng bi không khí MPI, điều khiển đĩa một tay đơn giản, mang lại sự tiện lợi vận hành vô song cho điều hướng XY nhanh và tải wafer nhanh mà không ảnh hưởng đến khả năng định vị chính xác và chính xác, với phong trào micromet XY Theta 25x25mm tinh tế và chính xác bổ sung.

2. Chuck đồng trục 10kV hoặc 3k (10kV coaxial hoặc 3kV triaxial ambient chucks)

Các tùy chọn mâm cặp bao gồm mâm cặp đồng trục 10kV hoặc mâm cặp vòng 3 trục 3kV của MP hoặc các loại mâm cặp nhiệt ERS khác nhau có thể hỗ trợ đo nhiệt độ lên đến 300oC. Bộ điều khiển cảm ứng nhiệt được thiết kế để gắn trên đầu dò, hoạt động nhanh chóng và thuận tiện.

3. Đầu dò HV/HC (các vấn đề HV/HC)

Các giải pháp phát hiện công suất cao MPI bao gồm đầu dò điện áp cao và dòng điện cao chuyên dụng, sử dụng đầu dò đa tiếp xúc độc quyền của MPI để giảm điện trở tiếp xúc. Đầu dò điện áp cao của MPI có khả năng thực hiện các phép đo dòng rò rỉ thấp trong quá trình kiểm tra điện áp cao, kiểm tra các thiết lập đồng trục lên đến 3kV ba trục hoặc 5 và 10kV.

An toàn và chính xác (Safe and Accurate)

Hệ thống đầu dò công suất cao thủ công tiêu chuẩn được cấu hình với DarkOX, cung cấp khả năng liên kết an toàn và EM Shield để đảm bảo đo lường âm thanh khô thấp, chính xác và an toàn.

Tích hợp thiết bị (Instruments Integration)

TS150-HP/TS200-HP có thể được cấu hình với nhiều gói kết nối thiết bị, bao gồm đầu dò điện áp cao/dòng điện cao cần thiết và phụ kiện định tuyến để kết nối tối ưu 2600-PCT-XB với các công cụ thử nghiệm như Keysight B1505 (3kV hoặc 10kV) hoặc Keithley, bao gồm tích hợp bảng giao diện công suất cao 8020.

IV. Thông số chức năng

Thông số

Đầu dò báo chí

Chuck công suất cao năng lượng không nhiệt