Bảng thăm dò tự động TS2000

MPI TS2000 là sự phát triển tự nhiên của các hệ thống thăm dò trưởng thành trên toàn thế giới với thiết kế đặc biệt đáp ứng các yêu cầu của thị trường thử nghiệm chất bán dẫn tiên tiến. Hệ thống này hoàn toàn tương thích với tất cả các phụ kiện hệ thống MPI và chủ yếu được sử dụng để giải quyết các yêu cầu đặc biệt về phân tích lỗi, xác minh thiết kế, kỹ thuật IC, độ tin cậy cấp wafer và thử nghiệm thiết bị MEMS, công suất cao, RF và mmW.

Mô tả sản phẩm

TS2000 có thể được sử dụng ở nhiệt độ môi trường xung quanh và/hoặc chế độ hoạt động nhiệt độ chỉ với tốc độ lên đến 10 Dies/s (tùy thuộc vào cấu hình cuối cùng), làm cho nó lý tưởng cho thử nghiệm điện tiền sản xuất trên các thiết bị RF rời rạc như:

1. Thích hợp cho nhiều ứng dụng đo lường wafer loại sản xuất hàng loạt

• Đo khối lượng mô-đun - DC-IV/DC-CV/Pulse-IV
• Đo tần số vô tuyến - lên đến 67 GHz
• Kiểm tra sản xuất hàng loạt công suất cao - lên đến 10 kV/600 A
• Xác minh thiết kế mạch tích hợp - nhiệt độ phòng đến 300 ° C

2. Độ tin cậy sản xuất hàng loạt

Được thiết kế cho thử nghiệm sản xuất hàng loạt ổn định và đáng tin cậy 24/7

Bàn chống sốc được xây dựng bên trong

Nhưng chúng ta có thể chọn nền tảng chống sốc.

Thích hợp để đo nhiệt độ phòng đến 300 ° C

3. Thiết kế công thái học và tùy chọn đàn hồi

Dễ dàng và thuận tiện cửa trước đơn tinh thể vòng trên thiết kế

Thiết kế bàn làm việc diện tích lớn, có thể tải lên đến 12x DC hoặc 4x DC+4x RF Microlocator, hoặc 4.5 "Standard Probe Card Fixture

Ngoài ra còn có nhiều loại đế wafer, kẹp thẻ thăm dò 4,5 "để lựa chọn, cũng như nhiều phụ kiện như vi định vị DC/RF, kính hiển vi quang học, v.v. để hỗ trợ đầy đủ nhu cầu ứng dụng của bạn

Tính năng&Lợi thế

1. Sử dụng rộng rãi Big Probe Press

Sê-ri TS2000 cung cấp các tấm đầu dò lớn, dễ tiếp cận có thể chứa tới 12x DC hoặc 4x RF MicroPositioners

Việc tích hợp bộ điều chỉnh lực kéo tải hoặc MicroPositioners diện tích lớn hơn làm cho hệ thống TS2000 lý tưởng cho các phép đo RF và mmW

2. Dễ dàng tải wafer

Truy cập cửa trước lớn có thể dễ dàng tải/dỡ 100, 150, 200mm wafer, mảnh wafer hoặc thậm chí nhỏ hơn 5 * 5mm IC

Các chuck AUX được đặt ở phía trước và có thể được tải/dỡ bỏ một cách thuận tiện. Không có giai đoạn triển khai cho phép các phương pháp tự động hóa đơn giản để hiệu chuẩn RF và làm sạch thẻ thăm dò

3. Bảng điều khiển phần cứng tích hợp

Bảng điều khiển phần cứng thông minh được tích hợp hoàn toàn vào hệ thống thăm dò, dựa trên nhiều thập kỷ kinh nghiệm và thiết kế tương tác của khách hàng, cung cấp các hoạt động kiểm soát và kiểm tra hệ thống nhanh hơn, an toàn hơn và thuận tiện hơn

Nếu cần thiết, vị trí của bàn phím và chuột có thể điều khiển phần mềm cũng như các công cụ dựa trên Windows.

Bảng điều khiển chân không cho wafer và AUX chuck được đặt ở phía trước bên phải để dễ dàng vận hành trong quá trình tải/dỡ hàng.

4. Tích hợp chuck nóng

Các mâm cặp nóng (từ 20 ℃ hoặc nhiệt độ môi trường đến tối đa 300 ℃) có thể được vận hành bằng màn hình cảm ứng tích hợp đầy đủ, được đặt ở một vị trí thuận tiện trước mặt người vận hành để vận hành nhanh và phản hồi ngay lập tức.

5. Thẻ thăm dò P và bộ định vị thu nhỏ - đồng thời

Nhiều đầu dò đơn, bộ cố định thẻ thăm dò mỏng cho thẻ thăm dò 4,5 "× 11", và khoảng cách tấm thấp hơn để chuck, lý tưởng cho việc phát hiện đồng thời bằng cách sử dụng đầu dò hoạt động, làm cho hệ thống lý tưởng cho công việc xác minh thiết kế và phân tích lỗi.

6. Tích hợp Darkbox

TS2000D là TS2000 tích hợp Dark Box.

Được thiết kế cho các tấm giao diện tiêu chuẩn cho các dấu chân tối ưu, lồng vào nhau, chiếu sáng LED và các thiết bị đo lường khác nhau, hệ thống này là sự lựa chọn hàng đầu cho môi trường thử nghiệm bảo vệ an toàn ánh sáng và laser.

Dễ dàng truy cập từ bảng điều khiển phía sau cho phép cấu hình lại nhanh chóng và thuận tiện hoặc thiết lập ban đầu

7. Tích hợp công cụ

Giá đỡ thiết bị tùy chọn làm giảm chiều dài cáp và cải thiện động lực đo và định hướng cho các ứng dụng F và mmW

8. Cách ly rung

T520000 sử dụng hai loại giải pháp cách ly rung để hoạt động tốt hơn trong môi trường thử nghiệm trong phòng thí nghiệm không có lưới. Tổng diện tích sàn tương đương hoặc nhỏ hơn so với các bảng cách ly rung động độc lập hiện có thường được sử dụng trong công nghiệp

9. Phần mềm SENTIO

Hệ thống thăm dò kỹ thuật tự động MPI được điều khiển bởi bộ phần mềm SENTIO đa cảm ứng độc đáo và mang tính cách mạng - hoạt động đơn giản và trực quan giúp tiết kiệm rất nhiều thời gian đào tạo, các lệnh Scroll, Zoom, Move bắt chước các thiết bị di động thông minh hiện đại, cho phép mọi người trở thành chuyên gia chỉ trong vài phút.

Đối với các ứng dụng RF, không cần phải chuyển sang một nền tảng phần mềm khác - chương trình phần mềm hiệu chuẩn RF MPI QAlibria được tích hợp đầy đủ với SENTIO - dễ sử dụng bằng cách tuân theo một khái niệm hoạt động duy nhất